一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法.pdf
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一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法.pdf
本发明涉及薄膜技术。一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法,包括一基片,采用基片表面作为基底层,在基底层镀上一层均匀金属锌膜层,金属锌薄膜在空气环境中通过热氧化处理,即得到氧化锌薄膜。将制备好的金属锌薄膜置于马弗炉中,在空气环境下,4-25分钟内将温度升至400-600摄氏度,对金属锌薄膜进行热处理,即可得到非晶态透明氧化锌薄膜。本发明通过调节金属锌薄膜热氧化速度和温度可以制备非晶态透明氧化锌薄膜。
一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法.pdf
本发明属于透明导电薄膜技术领域,具体为一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法。本发明首先以ZnO和TiO2粉末为原料,经过人工研磨或机械球磨混合均匀,将混合粉末装入粉末压片机,制成圆柱状靶材坯料,将靶材坯料放入刚玉坩埚中盖好后置于单晶炉中,在温度为800oC~1200oC之间烧结8~12小时即得到掺钛氧化锌陶瓷靶材,将烧制好的掺钛氧化锌靶材放入电子束蒸发镀膜设备的坩埚内,抽至本底真空,进行电子束蒸发镀膜,控制电子束流和沉积时间即得到掺钛氧化锌透明导电薄膜。本发明方法具有操作简单易控、时间短、沉积速率高等特点
一种氧化锌薄膜的制备方法.pdf
本发明公开了一种氧化锌薄膜的制备方法,具体步骤如下:衬底材料在丙酮和无水乙醇中用超声波振荡清洗1-3次;将靶材和衬底材料放入真空磁控溅射仪中,空磁控溅射仪的真空度为1.0×10-3~1.0×10-4Pa,充入惰性气体;工作气压为3.0Pa~0.1Pa,溅射间隙为40mm-120mm,溅射功率为20-60W;溅射获得金属锌薄膜与衬底材料一起转移到电阻炉中,热氧化气氛中氧分压约1KPa~30KPa,氧化温度为400℃-1200℃,热氧化时间10sec-1h,获得产物。本发明技术方案,具有工艺简单、速度快、适合
一种柔性透明导电薄膜制备方法.pdf
现有的一些图形化工艺方法都存在一些问题,不能很好的满足要求。本申请提供了一种柔性透明导电薄膜制备方法,包括:(1)在柔性衬底上依次制备纳米线导电薄膜层及水溶性聚合物薄膜层;(2)通过电雾化水系溶剂在所述聚合物薄膜表面沉积微纳尺度水滴,利用聚合物的水溶性刻蚀出网格图案结构,刻蚀至导电纳米线层完全暴露形成网格化聚合物薄膜;(3)以所述网格化聚合物薄膜为掩膜层对纳米线导电薄膜层进行氧等离子体处理,并去除未被掩蔽的纳米线导电薄膜;(4)利用去离子水去除残留的聚合物薄膜,干燥,得到柔性透明导电薄膜。采用了电雾化工艺
一种透明导电薄膜及其制备方法.pdf
本发明公开了一种透明导电薄膜及其制备方法,在聚合物衬底上涂布胶体膜,在室温,25%相对湿度条件下干燥处理使胶体膜开裂形成随机裂纹网络;然后使用真空电阻加热技术在随机裂纹网络的胶体膜表面沉积金属;得到残留在聚合物衬底表面的随机金属网格;采用热压工艺得到嵌入聚合物衬底中的随机金属网格,制得PET柔性透明导电薄膜。本发明制备工艺简单,成本低廉,方便大面积制备。