多晶硅还原炉的硅芯结构.pdf
一条****丹淑
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多晶硅还原炉的硅芯结构.pdf
一种多晶硅还原炉的硅芯结构,其包括第一硅芯、第二硅芯和搭接第一硅芯和第二硅芯的横梁。第一硅芯、第二硅芯和横梁其中之一至少有一部分为石墨材料制作。一种多晶硅还原炉的硅芯结构,其包括第一硅芯、第二硅芯和搭接第一硅芯和第二硅芯的横梁。第一硅芯包括晶硅部与晶硅部连接的石墨部。本发明的多晶硅还原炉的硅芯结构,在硅芯材料上至少部分选用了石墨材料,材料成本和加工成本都较低。
多晶硅还原炉硅芯夹持装置.pdf
本发明涉及一种夹持装置,具体地说涉及多晶硅还原炉硅芯夹持装置,属于多晶硅生产技术领域。本发明的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括卡瓣、盖子和底座,卡瓣通过盖子安装在底座上,盖子通过螺纹与底座连接,所述卡瓣包括上部的圆锥台和下部的圆柱体,所述圆柱体的直径大于圆锥台底面的直径,所述卡瓣的中心设有垂直的圆孔,所述圆孔与圆锥台同轴心。本发明结构稳定、能紧密包裹硅芯,防止硅芯根部发生逆腐蚀而倒棒,对整个还原生产倒棒率的减少极为有效。
多晶硅还原炉硅芯安装装置以及安装方法.pdf
本发明提供的一种多晶硅还原炉硅芯安装装置以及安装方法,涉及多晶硅生产技术领域,包括:硅芯安装盘,硅芯安装盘用于根据预设还原炉底盘电极的分布结构对应固定硅芯组件;硅芯吊装机构,硅芯吊装机构与硅芯安装盘对应设置,用于将硅芯组件吊装至硅芯安装盘以固定。在上述技术方案中,通过硅芯安装盘可以将硅芯组件预先按照预设还原炉底盘电极的分布结构进行分布固定,当还原炉底盘清理完成之后,便可以直接利用硅芯安装盘将预先分布固定好的硅芯组件安装在预设还原炉底盘,这种操作十分的快捷,还能够节省无产量的辅助时间,提高整体的生产效率。
多晶硅还原炉.pdf
本发明公开了一种多晶硅还原炉,包括:底盘和炉体,所述炉体连接在所述底盘上且在所述炉体与所述底盘之间限定出反应腔室;六十对电极,所述六十对电极设在所述底盘上且分别分布在第一至第八圈上,所述第一至第八圈为以所述底盘中心为中心且由内向外依次增大的八个同心正六边形;进气系统,所述进气系统包括设在所述底盘中部的多个喷嘴;和排气系统,所述排气系统包括多个排气口,所述排气口设在所述底盘上且位于所述第八圈与所述底盘的外周沿之间。根据本发明实施例的多晶硅还原炉,所述六十对电极设在所述底盘上且分别分布在第一至第八圈上,由此,
多晶硅还原炉.pdf
本发明多晶硅还原炉,主要由底盘、炉体、电极、混合气进气管、混合气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及硅棒组成。本发明因混合气进气管均设置在由电极组成的正多边形的中心,使得工艺气体能够均匀的扩散到位于多边形顶点的硅棒表面上。电极采用正多边形分布,各电极之间互相辐射的能量基本持平,硅棒之间互相吸收散失的能量,硅棒的温度更容易得到维持与控制。由于硅棒互相吸收热辐射,平均每根硅棒被炉体内表面吸收的热辐射大大减少,由于电极数量增加到36对,单台还原炉的产量也大幅度提升。每