一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107268072A(43)申请公布日2017.10.20(21)申请号201710598974.8(22)申请日2017.07.21(71)申请人洛阳金诺机械工程有限公司地址471000河南省洛阳市高新技术产业开发区金鑫路2号(72)发明人刘朝轩(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/32(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置(57)摘要一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置，涉及人工晶体领域，本发明通过在料盘（7）下方的上炉室（6）的侧壁上设置取料板（9），在取料板上设置复数个取料工位（2），在料盘上设置复数个放料工位（8），本发明在不改变炉室大小的情况下，可以一炉次拉制更多组硅芯，即节约了硅芯炉的制造成本，又降低了硅芯炉的使用成本，本发明具有结构简单，操作方便等特点，适合大范围的推广和应用。CN107268072ACN107268072A权利要求书1/1页1.一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置，包括料盘连接轴（1）、籽晶夹头（5）、料盘（7）、取料板（9）和伸缩机构（10），其特征是：所述料盘（7）设置在上炉室（6）内，在料盘（7）的中部设有料盘连接轴（1），所述料盘连接轴（1）的上端连接设置在上炉室（6）上端面的料盘旋转机构，在料盘（7）上设有复数个放料工位（8），在料盘（7）的左端设有软轴（3），所述软轴（3）的上端连接设置在上炉室（6）上端面的升降机构，软轴（3）的下端连接机械手（4），在所述机械手（4）的下面设有籽晶夹头（5），在料盘（7）下方上炉室（6）的侧壁上设有伸缩机构（10），所述伸缩机构（10）的伸缩杆连接取料板（9），在所述取料板（9）的上面间隔设有复数个取料工位（2），在每个取料工位（2）上分别设有籽晶夹头（5）形成所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置。2.根据权利要求1所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述取料板（9）的左端面设有向右端面凹陷的凹槽（11），在所述凹槽（11）的上面间隔设有复数个取料工位（2）。3.根据权利要求2所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述凹槽（11）的水平中心线对应机械手（4）的轴向中心线。4.根据权利要求1所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述取料板（9）上设置的取料工位（2）为四个。5.根据权利要求1所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述伸缩机构（10）为电动推杆或液压气缸。6.根据权利要求1所述的用于硅芯炉的硅芯取放料装置，其特征是：所述料盘（7）为圆形结构，在料盘（7）外缘面的左右两侧分别设有弧形缺口，在料盘（7）上设置四个放料工位（8）。2CN107268072A说明书1/3页一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置[0001]【技术领域】本发明涉及人工晶体领域，尤其涉及一种取放料装置，具体涉及一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置。[0002]【背景技术】已知的，现有的硅芯炉一次可以同时拉制五根硅芯，一炉次拉制三组，共计十五根硅芯，具体结构如图1所示，在上炉室6的上端面设有料盘旋转电机，所述料盘旋转电机的动力输出轴连接料盘连接轴1的上端，料盘连接轴1的下端连接料盘7，在所述料盘7的左侧设有两个取料工位2，在料盘7的右侧设有两个放料工位8，在料盘7的前部设有软轴3，所述软轴3的上端连接设置在上炉室6上端面的升降机构，软轴3的下端连接机械手4，在所述机械手4的下面设有籽晶夹头5。具体的拉制方法为在拉制前，首先在料盘7左侧的两个取料工位2上放置两套待用的籽晶夹头5，在机械手4的下面放置籽晶夹头5，然后开始对炉室进行抽真空、充氩气、加热原料棒、拉制硅芯等，硅芯在拉制过程中，需要使用籽晶进行引晶，待引晶完成后进行硅芯的拉制；在此过程中，籽晶需要通过籽晶夹头夹持，待高频线圈将原料棒的端头局部融化成液体后，籽晶夹头带动籽晶下降直至穿过高频线圈的拉制孔插入原料棒上端的溶液内，然后通过籽晶夹头带动籽晶上升，此时籽晶带动溶液上升并重新结晶，最终形成所需长度的硅芯；待一组硅芯拉制完成后，料盘7旋转，将拉制好的硅芯放置在料盘7右侧的放料工位8上，然后料盘7反转，使机械手4在料盘7左侧的取料工位2重新抓取一个待用的籽晶夹头5，开始新一组硅芯的拉制，重复上述步骤，直至三组硅芯拉制完成。[0003]但是如果需要一炉次拉制更多组硅芯，就需要加大料盘7的直径，即在料盘7上设置更多个取料工位2和放料工位8，采用此方法则需要加大炉室的直径来实现，如果加大了炉室的直径，首先会造成设备的制造成本增加，同时在硅芯拉制过程中，也会加大氩气的消耗量，导致使用成本大幅度增加等，因此，为了能实现一炉次拉