石英玻璃管硅片托架部件.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102032777A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102032777A(43)申请公布日2011.04.27(21)申请号201010523706.8(22)申请日2010.10.29(71)申请人常州亿晶光电科技有限公司地址213200江苏省金坛市尧塘镇金武路18号(72)发明人孙铁囤荀建华刘志刚高玉山潘盛姚伟忠陈琼(74)专利代理机构常州市维益专利事务所32211代理人周祥生(51)Int.Cl.F27B9/30(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图3页(54)发明名称石英玻璃管硅片托架部件(57)摘要本发明为无网带硅片烧结炉提供一种石英玻璃管硅片托架部件，包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉，托脚固定在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，金属套通过限位螺钉等间距地固定在石英玻璃管上，所述托脚由钢丝制成，在钢丝表面涂有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐热震性、耐酸性、化学稳定性、电绝缘性能良好、吸热量少等优点，很适合作为硅片托架，托脚用钢丝制成，并在其外表面上设有陶瓷涂层，既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求，降低硅片在烧结过程中由于金属接触而引起的金属离子污染。在金属套上开设开口和螺纹孔，便于金属套固定在石英玻璃管上。CN10237ACCNN110203277702032780A权利要求书1/1页1.一种石英玻璃管硅片托架部件，其特征是：包括石英玻璃管(411)、金属套(412)、托脚(413)和限位螺钉(414)，托脚(413)固定在金属套(412)上，在金属套(412)上设有螺纹孔(416)，金属套(412)通过限位螺钉(414)等间距地固定在石英玻璃管(411)上。2.根据权利要求1所述石英玻璃管硅片托架部件，其特征是：在石英玻璃管(411)上沿轴向方向等距离地开有限位孔(415)；在金属套(412)上还设有开口(417)。3.根据权利要求1所述石英玻璃管硅片托架部件，其特征是：所述托脚(413)由钢丝制成，在钢丝表面涂有陶瓷涂层(418)。2CCNN110203277702032780A说明书1/2页石英玻璃管硅片托架部件技术领域：[0001]本发明涉及一种无网带硅电池片烧结炉，尤其涉及无网带硅电池片烧结炉中硅片传输装置。背景技术：[0002]目前，国内外的太阳能电池生产制造厂家主要使用欧美企业所生产的烧结炉，这类烧结炉结构都是网带式隧道烧结炉，在烧结炉的纵向上依次设有预热排胶区、升温区、烧结区和降温区，在不同区域布置不同密度的加热灯管，以此来控制各区域的温度，印刷电极的硅片通过网带传输，依次经过烧结炉的不同炉温区，完成预热排胶、升温、烧结和降温的电极烧结过程，虽然这种网带式隧道烧结技术比较成熟，但整个烧结炉的纵向占地面积大，需要设计很长的炉体才能保证硅片在隧道传输过程中的预热排胶、升温、烧结、降温过程，由于高温烧结区的工艺温度需要在850-950℃之间，因此需要设计2-3米的隧道长度才能达到如此高的温度，这使得网带式烧结炉的体积庞大。若缩小则无法满足烧结工艺要求。另外，耐高温网带在运转的过程中，需要绕炉体内外循环运转，网带部分伴随硅片接受升温和降温的过程，因此，在运转过程中，网带会从炉内携带出大量的热量，而这部分热量将全部作为损耗，不仅造成了大量能量的浪费，而且也升高了工作环境温度，为此，申请人研制了一种无网带硅电池片烧结炉，它能很好地克服现有网带式隧道烧结炉存在的不足，这种设备占地面积小，热效率高，耗电量少，节能效果显著。[0003]所述无网带硅电池片烧结炉，包括进料台1、隧道式烧结箱2、出料台3、硅片输送装置4和炉体架5，如图1所示，硅片输送装置4设置在进料台1和出料台3之间，且位于隧道式烧结箱2中，硅片输送装置4包括固定托架41和移动托架42，固定托架41的两端分别固定在进料台1和出料台3中的固定架上，移动托架42的两端分别固定在由复升降机构和往复平移机构驱动的滑动板上，移动托架42在往复升降机构和往复平移机构的双重作用下，使移动托架42周期性地完成上升、前移、下降和后退动作，从而将放置在固定托架41上的硅片逐步向前搬移。在这种无网带硅电池片烧结炉中，无论固定托架41还是移动托架42都必须能长时间在850-950℃的高温环境下稳定不变形，采用什么样的硅片托架部件是无网带硅电池片烧结炉的关键技术之一。发明内容：[0004]本发明的目的是为无网带硅电池片烧结炉提供一种石英玻璃管硅片托架部件。[0005]本发明所采用的技术方案是：[0006]所述石英玻璃管硅片托架部件，其特征是：包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉，托脚固定在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，金属套通过限位螺钉等间距