硅片移动托架的左右平移机构.pdf
是丹****ni
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
硅片移动托架的左右平移机构.pdf
一种无网带高效烧结炉中的硅片移动托架的左右平移机构,包括水平推杆、杠杆、转销、支承座、滑块和竖直导轨,竖直导轨竖直地固定在滑动板上,滑块套装在竖直导轨上,杠杆的上端与滑块铰接,杠杆的下端与水平推杆铰接,杠杆的中部通过转销安装在支承座上,支承座安装在固定底板上。由于移动托架固定在进料台和出料台的滑动板上,当水平杆左右平移动时,杠杆就会绕转销转动,由于杠杆的下端与水平杆铰接,杠杆的上端与滑块铰接,滑块套装在竖直导轨上,竖直导轨固定在滑动板上,滑动板套装在滑轨上,从而迫使滑动板实现左右平移运动,满足工艺要求。
硅片移动托架的升降机构.pdf
一种无网带高效烧结炉中的硅片移动托架的升降机构,包括水平推杆、摆杆、转轴、偏心轮、滚轮、轴承座、耳座、活动台和固定底板,转轴通过轴承座安装在固定底板上,偏心轮固定安装在转轴上,摆杆的上端固定安装在转轴上,转轴可转动地安装在固定底板上,摆杆的下端与水平推杆铰接,滚轮可转动地安装活动板的下端面上,滚轮通过耳座固定在活动板上,滚轮与偏心轮相接触。当水平推杆左右平移时,摆杆带动转轴左右摆转,由于偏心轮固定安装在转轴上,偏心轮也会之摆转,从而带动活动板往复升降运动,满足了移动托架相对于固定托架的升降动作要求。
左右上下平移动画.ppt
探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象探讨2、二次函数y=3(x-1)2-2的图象
电机驱动型硅片除尘托架.pdf
本发明公开了一种电机驱动型硅片除尘托架,本发明的电机驱动型硅片除尘托架使用时将硅片用橡胶棒插接固定在托盘表面,电机驱动可以改变硅片的位置和方向,作业人员用气枪将硅片表面的灰尘吹洗干净,整个吹洗过程作业人员不用手持硅片,避免了对硅片的二次污染。
石英玻璃管硅片托架部件.pdf
本发明为无网带硅片烧结炉提供一种石英玻璃管硅片托架部件,包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉,托脚固定在金属套上,在金属套上设有螺纹孔,金属套通过限位螺钉等间距地固定在石英玻璃管上,所述托脚由钢丝制成,在钢丝表面涂有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐热震性、耐酸性、化学稳定性、电绝缘性能良好、吸热量少等优点,很适合作为硅片托架,托脚用钢丝制成,并在其外表面上设有陶瓷涂层,既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求,降低硅片在烧结过程中由于金属接触而引起的金属离子污染。在金属套上