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直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
2023-06-15
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沛芹****ng
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直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉，属于水冷屏装置的技术领域，包括水冷屏，所述水冷屏的下端设置圆环形护套，所述圆环形护套与所述水冷屏的下端连接，水冷屏上部分为不锈钢结构，而单晶炉内的加热器的加热温度为1450℃，炉腔内的环境温度在1000℃以上，不锈钢的耐高温温度为1000℃，在单晶炉内炉内温度过高容易造成不锈钢水冷屏高温熔断或爆裂，因此采用圆环形护套将水冷屏和圆环形护套固定在石英坩埚上方，避免水冷热屏高温熔断或爆裂，同时通过圆环形护套能够延伸水冷屏的长度，延伸水冷热屏的热折射，有效保证单晶炉内良
2023-06-15
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直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
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2023-06-15
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