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籽晶夹头及直拉单晶炉.pdf
2023-06-17
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雨巷****珺琦
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本发明公开了一种籽晶夹头及直拉单晶炉，所述籽晶夹头中设置一中空结构，所述中空结构贯通所述籽晶夹头的上下两端。将其应用于直拉单晶炉中，使得所述直拉单晶炉中的惰性保护气体(如氩气)可以通过所述中空结构冷却晶棒头部的中间部分，与晶棒的边缘散热速度保持一致，使整个晶棒散热均匀，克服晶棒边缘散热快，中间散热慢的现象，提高晶棒的晶体质量。另外，所述籽晶夹头的外径与一晶棒的直径相等，有利于抑制直拉单晶炉下端向上辐射传热，减少通过所述中空结构向上散失热量，降低长晶的功耗，稳定控制长晶过程的热场温度分布，有利于晶棒的生长，
2023-06-17
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2023-06-17
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2023-06-17
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2023-06-18
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