单晶炉坩埚防尘装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102400207A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102400207A(43)申请公布日2012.04.04(21)申请号201110366050.8(22)申请日2011.11.18(71)申请人宁夏日晶新能源装备股份有限公司地址753000宁夏回族自治区石嘴山市经济开发区欣盛路(72)发明人吴学军周凯平(74)专利代理机构银川长征知识产权代理事务所64102代理人马长增(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)权利要求书1页说明书1页附图1页(54)发明名称单晶炉坩埚防尘装置(57)摘要单晶炉坩埚防尘装置属于冶炼机电技术领域，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘；含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体的上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上；在硅单晶拉制前，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。CN10247ACCNN110240020702400206A权利要求书1/1页1.单晶炉坩埚防尘装置，其特征在于：含杂质(3)和磁流体(4)，由坩埚轴(1)、压紧套(2)和防尘法兰(5)组成；坩埚轴(1)为水冷焊接件和磁流体(4)同轴心套装，在磁流体(4)的上平面和坩埚轴(1)外圆轴面同轴心安装防尘法兰(5)；压紧套(2)套装在防尘法兰(5)外侧并通过螺钉固定在坩埚轴(1)上。2CCNN110240020702400206A说明书1/1页单晶炉坩埚防尘装置技术领域：[0001]单晶炉坩埚防尘装置属于机电技术领域，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘。背景技术：[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料；单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制前，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；众所周知，目前单晶炉坩埚装置，采用防尘装置密固性能差，容易造成设备损坏，晶棒精度低等现象。[0003]发明的内容：[0004]本发明单晶炉坩埚防尘装置发明目的在于：解决单晶炉晶体拉制过程中产生杂质易掉入磁流体、造成设备易损坏问题，设计制造一种与现有技术不同坩埚防尘装置。[0005]本发明单晶炉坩埚防尘装置是这样实现的：含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上。[0006]在硅单晶拉制过程中，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，导致磁流体卡死、不旋转，影响拉晶质量。[0007]本发明单晶炉坩埚防尘装置的有益效果是：在硅单晶拉制过程中，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。附图说明：[0008]附图为本发明单晶炉坩埚防尘装置结构示意图。[0009]图中：坩埚轴1、压紧套2、杂质3、磁流体4、防尘法兰5。具体实施方式：[0010]本发明单晶炉坩埚防尘装置，含杂质3和磁流体4，由坩埚轴1、压紧套2和防尘法兰5组成；坩埚轴1为水冷焊接件和磁流体4同轴心套装，在磁流体4上平面和坩埚轴1外圆轴面同轴心安装防尘法兰5；压紧套2套装在防尘法兰5外侧并通过螺钉固定在坩埚轴1上。3CCNN110240020702400206A说明书附图1/1页4