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坩埚装置、单晶炉装置及其工作方法.pdf
2023-06-07
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坩埚装置、单晶炉装置及其工作方法.pdf
本发明提供了一种坩埚装置、单晶炉装置及其工作方法，属于半导体制造技术领域。坩埚装置包括：石墨坩埚；套设在石墨坩埚中的石英坩埚；位于石墨坩埚外侧、包覆石墨坩埚的下半部分的坩埚隔热结构。单晶炉装置包括：炉体；炉体内设置有加热器，加热器通过电极螺栓固定在炉体底部，并与炉体底部的加热电极相连接；设置在加热器中央的坩埚轴，坩埚轴的上端设置有坩埚托盘，坩埚轴的下端穿出炉体的底部，坩埚托盘承载有坩埚装置；控制单元，与坩埚轴和晶棒提拉装置分别连接，用于分别控制坩埚轴和晶棒的转动方向以及转速。本发明的技术方案能够增加氧在晶
2023-06-07
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2023-06-20
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一种单晶炉坩埚取出装置，包括悬吊部及安装在悬吊部上的挂钩，悬吊部包括起吊架、上支撑环、固定件、连接杆、下支撑环、底托、把手，起吊架上端与挂钩固定连接，起吊架的下端固定在上支撑环上，连接杆的两端分别从上支撑环、下支撑环上穿过，并通过固定件将连接杆与上支撑环、下支撑环相对的可旋转的固定，把手的一端固定安装在连接杆的从上支撑环穿出的端部，底托的一端固定安装在连接杆的从下支撑环穿出的端部，其中把手的另一端与底托的另一端伸出方向相反，且把手、底托与上支撑环、下支撑环相互平行，底托的另一端的指向下支撑环的轴线。
2023-06-20
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2023-06-20
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