坩埚、坩埚组件和单晶炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115787070A(43)申请公布日2023.03.14(21)申请号202211522679.1(22)申请日2022.11.30(71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司地址710000陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室(72)发明人杨文武(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243专利代理师张敬强(51)Int.Cl.C30B15/12(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称坩埚、坩埚组件和单晶炉(57)摘要本发明涉及一种坩埚，包括筒状主体和底座，所述筒状主体采用碳纤维复合材料制成，所述底座采用石墨材质制成。本发明还涉及一种坩埚组件和单晶炉。本发明实施例提供的坩埚包括筒状主体和底座，所述筒状主体包括多瓣碳纤维复合材料制成的坩埚瓣。相对于相关技术中的石墨材质的坩埚，在承载石英坩埚时，由于碳纤维复合材料与石英不发生反应，因此在拉晶过程中石英坩埚可与本发明实施例中的坩埚可实现紧密贴合，碳纤维复合材料具有很好的高温导热性能，可将热量均匀地传输至石英坩埚，有助于石英坩埚氧的均匀析出，有利于晶棒中径向氧均一性。CN115787070ACN115787070A权利要求书1/1页1.一种坩埚，其特征在于，包括筒状主体和底座，所述筒状主体采用碳纤维复合材料制成，所述底座采用石墨材质制成。2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述筒状主体包括多瓣坩埚瓣，相邻两个坩埚瓣之间具有缝隙，所述缝隙从所述筒状主体顶部向所述筒状主体的底部延伸，且相对于所述筒状主体的轴向方向，所述缝隙沿所述筒状主体的周向方向倾斜设置，所述缝隙的倾斜方向与在拉晶过程中所述坩埚的旋转方向相反。3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述筒状主体包括直壁部和弧形部，所述弧形部具有远离所述直壁部的第一端，所述底座上设置有供所述第一端插入的插接槽。4.根据权利要求3所述的坩埚，其特征在于，在所述筒状主体的轴向方向上，所述底座的截面呈工字形，所述底座包括相对设置的第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部靠近所述筒状主体设置，所述第一支撑部和所述第二支撑部之间通过连接柱连接，所述第一支撑部和所述第二支撑部之间形成所述插接槽。5.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述弧形部的内侧面包括远离所述直壁部设置的第一区域，所述第一区域凹陷形成台阶槽，所述台阶槽与所述第一支撑部相配合，以使得所述弧形部的内侧面与所述第一支撑部远离所述第二支撑部的一面位于同一平面。6.根据权利要求所5述的坩埚，其特征在于，所述台阶槽包括一台阶面，所述台阶面为向远离所述直壁部的方向倾斜延伸的斜面，所述第一支撑部靠近所述第二支撑部的一面为与所述台阶面相配合的斜面。7.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述第二支撑部靠近所述第一支撑部的一面为与所述筒状主体的径向方向相平行的平面结构，所述弧形部远离所述直壁部的底面为平面结构。8.一种坩埚组件，其特征在于，包括石英坩埚和位于所述石英坩埚外部的权利要求1‑7任一项所述的坩埚。9.一种单晶炉，其特征在于，包括权利要求8所述的坩埚组件。2CN115787070A说明书1/4页坩埚、坩埚组件和单晶炉技术领域[0001]本发明涉及硅产品制作技术领域，尤其涉及一种坩埚、坩埚组件和单晶炉。背景技术[0002]通常应用于单晶炉中的坩埚组件包括石英坩埚和位于石英坩埚外围的石墨坩埚，石英坩埚用于容纳硅熔液，石墨坩埚整体为石墨材质，该材质有以下不足之处：排气性不太好，拉晶过程中由于石墨与石英发生反应，产生一氧化碳气体，该气体不能及时排出会导致石英坩埚发生鼓包现象，这很大程度上影响了拉晶的正常进行，严重影响了晶棒的品质，极有可能导致坩埚内受热不均，对流紊乱，进而导致晶棒断线发生，影响拉晶良率。发明内容[0003]为了解决上述技术问题，本发明提供一种坩埚、坩埚组件和单晶炉，解决由于石墨坩埚和石英坩埚反应产生一氧化碳气体，影响拉晶良率的问题。[0004]为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种坩埚，包括筒状主体和底座，所述底座采用石墨材质制成。[0005]可选的，所述筒状主体包括多瓣坩埚瓣，相邻两个坩埚瓣之间具有缝隙，所述缝隙从所述筒状主体顶部向所述筒状主体的底部延伸，且相对于所述筒状主体的轴向方向，所述缝隙沿所述筒状主体的周向方向倾斜设置，所述缝隙的倾斜方向与在拉晶过程中所述坩埚的旋转方向相反。[0006]可选的，所述筒状主体包括直壁部和弧形部，所述弧形部具有远离所述直壁部的第一端，所述底座上设置有供所述第一端插入的插接槽。[0007]可选的，在所述筒状主体的轴向方向上，所述底座的截面呈工字形，所述底座包括相对设置的第一