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单晶炉坩埚取出装置.pdf
2023-06-20
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单晶炉坩埚取出装置.pdf
一种单晶炉坩埚取出装置，包括悬吊部及安装在悬吊部上的挂钩，悬吊部包括起吊架、上支撑环、固定件、连接杆、下支撑环、底托、把手，起吊架上端与挂钩固定连接，起吊架的下端固定在上支撑环上，连接杆的两端分别从上支撑环、下支撑环上穿过，并通过固定件将连接杆与上支撑环、下支撑环相对的可旋转的固定，把手的一端固定安装在连接杆的从上支撑环穿出的端部，底托的一端固定安装在连接杆的从下支撑环穿出的端部，其中把手的另一端与底托的另一端伸出方向相反，且把手、底托与上支撑环、下支撑环相互平行，底托的另一端的指向下支撑环的轴线。
2023-06-20
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一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置.pdf
本发明涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，包括提升杆、提升滑套、托板、支臂和连接杆，所述提升滑套设在提升杆外部，提升杆与提升滑套可相对滑动，所述托板、支臂和连接杆组成卡托机构，卡托机构设置在提升杆和提升滑套的周向且均匀分布形成三爪卡托，该装置可以安全快速且省力的取出单晶炉坩埚，在取出过程中保护坩埚不被损坏。
2023-06-19
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单晶炉坩埚防尘装置.pdf
单晶炉坩埚防尘装置属于冶炼机电技术领域，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘；含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体的上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上；在硅单晶拉制前，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。
2023-06-20
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坩埚装置、单晶炉装置及其工作方法.pdf
本发明提供了一种坩埚装置、单晶炉装置及其工作方法，属于半导体制造技术领域。坩埚装置包括：石墨坩埚；套设在石墨坩埚中的石英坩埚；位于石墨坩埚外侧、包覆石墨坩埚的下半部分的坩埚隔热结构。单晶炉装置包括：炉体；炉体内设置有加热器，加热器通过电极螺栓固定在炉体底部，并与炉体底部的加热电极相连接；设置在加热器中央的坩埚轴，坩埚轴的上端设置有坩埚托盘，坩埚轴的下端穿出炉体的底部，坩埚托盘承载有坩埚装置；控制单元，与坩埚轴和晶棒提拉装置分别连接，用于分别控制坩埚轴和晶棒的转动方向以及转速。本发明的技术方案能够增加氧在晶
2023-06-07
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直拉式单晶炉用坩埚驱动装置.pdf
一种直拉式单晶炉用坩埚驱动装置，它包括坩埚支架、坩埚旋转组件、坩埚轴组件、埚升组件，坩埚支架固定在底座上，两根配对的配有滑块的滚动直线导轨副固定在坩埚支架上，滑台与两块滑块连接，滑台上装坩埚轴组件，坩埚旋转组件装在滑台一侧，坩埚旋转组件带动坩埚轴组件旋转，驱动滚珠丝杆副上段通过轴承与上轴承座连接，上轴承座固定在坩埚支架顶面，埚升组件固定在底座上，埚升组件带动蜗轮减速器，滑台上的下轴承座与驱动滚珠丝杆副中的丝杆螺母连接，蜗轮减速器固定在底座上，驱动滚珠丝杆副直接连接蜗轮减速器，蜗轮减速器直接带动驱动滚珠丝杆
2023-06-20
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