高效节能型多晶硅还原炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102424386A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102424386A(43)申请公布日2012.04.25(21)申请号201110262293.7(22)申请日2011.09.06(71)申请人江苏中圣高科技产业有限公司地址211112江苏省南京市江宁区诚信大道2111号(72)发明人郭宏新刘丰刘世平马明何松田朝阳李晖王红丽练绵炎(74)专利代理机构南京天华专利代理有限责任公司32218代理人夏平瞿网兰(51)Int.Cl.C01B33/03(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称高效节能型多晶硅还原炉(57)摘要一种高效节能型多晶硅还原炉，它包括支座（1）、带水夹套双管板（7）和由炉筒内壁（14）及炉筒外壁（16）组成的炉体，其特征是所述的炉筒内壁（14）上设有热反射涂层（17），在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间安装有螺旋支撑板（19），炉筒外壁（16）下部设有冷却水进口（22），冷却水在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间沿螺旋上升至炉体顶部的水汽出口（18）排出炉体外；所述的带水夹套双管板（7）中设有多圈电极套（12），电极（5）穿装在电极套（12）中，所述的带水夹套双管板（7）的内腔与进水及分配管（3）相连通；在所述的带水夹套双管板（7）的表面设有多圈原料气喷嘴（21），在带水夹套双管板（7）的中心连接有与炉体内腔相通的尾气排气管（26）和冷却水排水管（25）。本发明炉内温度均匀性好，节能效果显著。CN1024386ACCNN110242438602424392A权利要求书1/1页1.一种高效节能型多晶硅还原炉，它包括支座（1）、带水夹套双管板（7）和由炉筒内壁（14）及炉筒外壁（16）组成的炉体，其特征是所述的炉筒内壁（14）上设有纳米级热反射涂层（17），在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间安装有螺旋支撑板（19），炉筒外壁（16）下部设有冷却水进口（22），冷却水在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间沿螺旋上升至炉体顶部的水汽出口（18）排出炉体外；所述的带水夹套双管板（7）中设有多圈电极套（12），电极（5）穿装在电极套（12）中，电极（5）的上端伸入炉体中用于插装硅芯棒（15），电极（5）的下端安装有冷却水套，冷却水套的进水口（4）通过管道与冷却水源相连，冷却水套的出水口（6）通过管道与排水口相连；所述的带水夹套双管板（7）的内腔与进水及分配管（3）相连通；在所述的带水夹套双管板（7）的表面设有多圈原料气喷嘴（21），在双管板（7）下方安装有进气环管及分配管（2），原料气喷嘴（21）安装在进气环管及分配管（2）中的分配管的上端，该分配管的上端穿过带水夹套双管板（7）内部的水路与炉体内腔相通；在带水夹套双管板（7）的中心连接有与炉体内腔相通的尾气排气管（26），尾气排气管（26）套装在冷却水排水管（25）中，冷却水排水管（25）的进水端与带水夹套双管板（7）内腔相通以便将内腔中的冷却水排出。2.根据权利要求1所述的高效节能型多晶硅还原炉，其特征是所述的炉体沿内壁或外壁设置冷却水夹套，即在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间有螺旋支撑板的（19）冷却水夹套，炉筒法兰带有内冷却水夹套（23），双管板（7）之间有径向折流板（28）和周向折流板（27）的形成的冷却水夹套。3.根据权利要求1所述的高效节能型多晶硅还原炉，其特征是所述的炉筒内壁（14）上设有纳米级热反射涂层（17），纳米级热反射涂层（17）厚度为50-200µm,且涂层表面粗糙度小于0.2µm，材料为Cr及其合金、Ni及其合金、Ti及其合金、Ag及其合金、Au及其合金或氮化合金。4.根据权利要求1所述的高效节能型多晶硅还原炉，其特征是所述的带水夹套双管板（7）的管板顶部连接有排气管（24）。5.根据权利要求1所述的高效节能型多晶硅还原炉，其特征是所述的带水夹套双管板（7）的内壁设有纳米级强化传热元件（9）。6.根据权利要求5所述的高效节能型多晶硅还原炉，其特征是所述的管板纳米级强化传热元件（9）为在带水夹套双管板（7）上管板内壁上形成的散热片、凸凹结构、菱形或凹槽、肋片、环形槽或径向槽；纳米级强化传热元件（9）的布置为低翅密排，即翅高小于1mm,宽度小于1mm。7.根据权利要求1所述的高效节能型多晶硅还原炉，其特征是所述的带水夹套双管板（7）中设有径向折流板（28）和与径向折流板（28）相连的周向折流板（27）。8.根据权利要求7所述的高效节能型多晶硅还原炉，其特征是所述的径向折流板（28）的数量至少为4个，每个与径向折流板（28）至少连接有两个周向折流板（27），径向折流板（28）和周向折流板（27）带有弧形过渡段。9.根据权利要求1所述的高效节能型多