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碳碳化硅坩埚及其制作工艺.pdf
2023-06-20
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羽沫****魔王
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碳碳化硅坩埚及其制作工艺.pdf
一种碳碳化硅坩埚及其制作工艺，解决普通坩埚强度低、抗热震性能差、使用寿命短等问题。碳碳化硅坩埚由碳素纤维和碳化硅复合而成，制作工艺步骤包括预制、固化、致密、纯化、浸硅、炭化、成型。可显著降低坩埚厚度，增加坩埚强度和抗热震性能，提高使用寿命。适合高温炉，如单晶炉等使用。
2023-06-20
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耐热震性碳化硅坩埚及其制作工艺.pdf
本发明属于坩埚制作领域，具体涉及耐热震性碳化硅坩埚及其制作工艺。本发明要解决的技术问题是现有方法制作的碳化硅坩埚烧结成本高，热膨胀系数大，弹性小，耐热震性差，导致急冷急热条件下坩埚易碎裂。本发明解决上述技术问题的方案是提供一种耐热震性碳化硅坩埚及其制作工艺。上述耐热震性碳化硅坩埚，其组分含量(按质量百分比计)为：碳化硅75％～85％，除氧剂7％～17％，添加剂0.7％～1％，粘结剂2％～7％，余量为脱模剂。本发明提供的耐热震性碳化硅坩埚，具有良好的抗热震性能，可进出≥1200℃炉膛，坩埚不炸裂，同时，本发
2023-06-19
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碳碳薄壁筒及其制作工艺.pdf
本发明公开了一种碳碳薄壁筒及其制作工艺，包括筒体，所述筒体由表层、中间层和底层构成,所述表层与所述中间层之间设置有第一填充层，所述中间层与所述底层之间设置有第二填充层，所述表层与所述第一填充层之间、所述第一填充层与所述中间层之间、所述中间层与所述第二填充层之间和所述第二填充层与所述底层之间均通过树脂粘接。本发明采用上述结构的碳碳薄壁筒及其制作工艺，满足了碳碳薄壁筒强度高、重量低的特点，能够最大程度的提高工作效率，提高了单晶硅炉坩埚和热屏的内部装料空间，提高了碳碳产品套装生产能力。
2023-06-18
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钼坩埚及其制备工艺.pdf
本发明涉及焊接钼坩埚领域，具体而言，涉及一种钼坩埚及其制备工艺。钼坩埚的制备工艺包括以下步骤：将焊接后的钼坩埚半成品进行分阶段热处理；优选地，分阶段热处理包括利用中频控制热处理过程；更优选地，分阶段热处理包括：中频控制下，在功率为5‑10KW的条件下，对所述钼坩埚半成品预热10‑30分钟，而后将功率升至18‑22KW，将所述钼坩埚半成品加热50‑80分钟，当加热温度达到1500‑1800℃时，再将功率降至5‑10KW继续加热20‑40分钟后关闭中频电源。该工艺能够提高钼坩埚的质量，保证钼坩埚具有良好的强度
2023-06-14
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本发明公开了一种整体式碳碳坩埚及其制造方法，该制造方法主要包括以下步骤：（1）整体针刺毡预制体制作；（2）对预制体进行预定型；（3）在碗型底部开三个圆周均布圆形通孔；（4）对预制体继续进行CVD增密；（5）对坩埚进行高温石墨化处理；（6）对坩埚进行机械加工，将碗部三个圆周均布孔加工成通孔；（7）加工相配合的堵头；（8）将堵头敲进坩埚碗部；（9）CVD涂层。本发明解决了现有整体式碳碳坩埚在CVD增密过程由于整体坩埚形状原因导致的增密气体在炉内滞留时间延长、局部区域压力增大而使得增密效率低，并且容易产生炭黑的
2023-06-18
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