整体式碳碳坩埚及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106245117A(43)申请公布日2016.12.21(21)申请号201610745653.1(22)申请日2016.08.29(71)申请人湖南省鑫源新材料股份有限公司地址414000湖南省岳阳市屈原管理区营田镇虎形山社区(72)发明人孟辉姜勇杨宇黄耀昕徐雄(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)C23C16/26(2006.01)权利要求书1页说明书2页(54)发明名称整体式碳碳坩埚及其制造方法(57)摘要本发明公开了一种整体式碳碳坩埚及其制造方法，该制造方法主要包括以下步骤：（1）整体针刺毡预制体制作；（2）对预制体进行预定型；（3）在碗型底部开三个圆周均布圆形通孔；（4）对预制体继续进行CVD增密；（5）对坩埚进行高温石墨化处理；（6）对坩埚进行机械加工，将碗部三个圆周均布孔加工成通孔；（7）加工相配合的堵头；（8）将堵头敲进坩埚碗部；（9）CVD涂层。本发明解决了现有整体式碳碳坩埚在CVD增密过程由于整体坩埚形状原因导致的增密气体在炉内滞留时间延长、局部区域压力增大而使得增密效率低，并且容易产生炭黑的难题，此外，采用该方法还可以大幅度提高单炉/单料柱产量。CN106245117ACN106245117A权利要求书1/1页1.整体式碳碳坩埚的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）整体针刺毡预制体制作；（2）对预制体进行50-80小时预定型；（3）预定型之后在碗型底部开三个圆周均布圆形通孔；（4）对预制体继续进行2-3次CVD增密，每次时间100-120小时；（5）对坩埚进行高温石墨化处理；（6）对坩埚进行机械加工，将碗部三个圆周均布孔加工成通孔；（7）按紧配合尺寸公差加工三个相同尺寸的堵头；（8）将三个堵头敲进坩埚碗部，形成整体坩埚，再对坩埚进行整体加工到最终尺寸；（9）对整体加工过的碳碳坩埚进行CVD涂层。2.根据权利要求1所述的整体式碳碳坩埚的制造方法，其特征在于，所述步骤（6）中的通孔为T型通孔，步骤（7）中的堵头为T型堵头。3.根据权利要求1所述的整体式碳碳坩埚的制造方法，其特征在于，所述步骤（6）中的通孔为直圆孔，步骤（7）中的堵头采用在配合面打止动销钉。4.由权利要求1-3任一项整体式碳碳坩埚的制造方法制造所得的整体式碳碳坩埚。2CN106245117A说明书1/2页整体式碳碳坩埚及其制造方法技术领域[0001]本发明涉及单晶炉用碳碳坩埚领域，特别是涉及一种整体式碳碳坩埚及其制造方法。背景技术[0002]随着各国政府和人民对资源、环境保护意识和力度的增强，太阳能这一绿色环保产业在我国的发展突飞猛进，单晶硅炉的数量由2006年的800台左右迅猛增加至现在的8000台左右，由此导致单晶硅炉必不可少的坩埚的需求急剧增长，从而也带动了碳/碳复合材料坩埚在单晶硅炉使用领域的快速发展。碳/碳复合材料坩埚,是由高强度炭纤维和炭素基质构成的复合材料加工而成的高技术产品，较之石墨制品节能、大幅度省材，且性能优异，具有长寿命、高比强度、耐高温、耐腐蚀、热膨胀系数小、耐急冷急热不变形不开裂等优良性能；是替代单晶炉石墨坩埚的理想的升级产品。目前，单晶炉用碳碳坩埚的结构主要有以下三种：一：采用整体结构。[0003]二：采用三（两）瓣式结构。[0004]三：采用上下分节分体式结构。[0005]本发明专利主要针对第一种整体式碳碳坩埚，整体式碳碳坩埚的生产制造流程为：预制体制作-预定型(CVD工艺)-2～3次整体增密(CVD工艺)-石墨化处理-加工-涂层(CVD工艺)。整体式碳/碳坩埚在制作过程中，主要是以CVD工艺进行增密，而CVD工艺的增密效率与气体流向、压力、温度有关，由于整体式碳/碳坩埚的形状特点类似于碗形，在进行CVD增密过程中，需要将整体式坩埚倒扣过来，让增密气体更多的接触碗形内表面，以提高增密的效果，采用该种方式进行增密时由于碗形底部为全封闭结构，使得气体容易聚集、压力升高，导致产生炭黑，并且进行批量生产时，只能一个料柱沉积一件，无法再继续叠加放置更多坩埚。发明内容[0006]为解决现有CVD增密过程中存在的上述至少一个问题，本发明的目的在于提供一种能够大幅提高单炉/料柱的装炉量，有效提高生产效率的整体式碳碳坩埚及其制造方法。[0007]为实现上述目的，本发明提供以下技术方案：整体式碳碳坩埚的制造方法，包括以下步骤：（1）整体针刺毡预制体制作；（2）对预制体进行50-80小时预定型；（3）预定型之后在碗型底部开三个圆周均布圆形通孔；（4）对预制体继续进行2-3次CVD增密，每次时间100-120小时；（5）对坩埚进行高温石墨化处理；（6）对坩埚进行机械加工，将碗部三个圆周均布孔加工成通