单晶炉用内层隔热屏.pdf
是向****23
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单晶炉用内层隔热屏.pdf
本发明公开了一种新的单晶炉用内层卷筒式隔热屏,主要由紧贴的若干层钼或钼合金卷筒组成,每层卷筒分别由若干段分卷筒组成,每段分卷筒由若干片钼或钼合金片卷制而成;每层卷筒之间通过卷筒高度规格的调整,使各层卷筒间横向拼接的间隙错开;每层卷筒之间通过调整卷筒缝隙的位置,使各层卷筒间纵向连接的间隙错开;若干层卷筒通过设置在最外层卷筒纵向拼接缝处的连接条与卡子整体连接;基本实现了大尺寸卷筒隔热屏“无缝”拼接,极大地提高了单晶炉的隔热效果,保证了利于蓝宝石生长的温场,不但降低了使用单晶炉生产蓝宝石的能耗,而且有效地降低了
单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉.pdf
本发明公开一种用于单晶炉的热屏及使用其的单晶炉,所述热屏包括定位部,所述定位部用于与炉体连接,且所述定位部形成有上部开口端;和锥台部,所述锥台部上端与定位部相连接且下端形成有下部开口端,其中,所述锥台部由基体和位于基体内表面上的内层构成,形成所述内层的内层材料从包括硅、硅化合物、耐1400℃金属、硼化物、碳化物、氮化物、以及上述物质的混合物的组中选择。通过在单晶炉内的石英坩埚上方安装本发明的热屏,从而实现了多装料的同时避免了在装料时混入碳成分,因而能够在提高生产效率、降低生产成本的同时获得高品质的单晶。此
一种单晶炉隔热屏及其制备方法.pdf
本发明公开了一种单晶炉隔热屏及其制备方法,单晶炉隔热屏包括炉体,在炉体内设有氧化锆陶瓷保温桶,在保温桶内壁上镀有纳米钨薄膜层,在氧化锆陶瓷保温桶外壁上设有薄壁钼质圆筒。制备方法:采用氧化锆粉体掺杂3%Y2O3粉体制备弧形氧化锆陶瓷砖;采用氩气作为工作气体,在磁控溅射室内,直流溅射纯度为99.99%的片状钨靶材,在经处理的弧形氧化锆陶瓷砖内壁上溅射一纳米钨薄膜层;采用镀有纳米钨薄膜层的弧形氧化锆陶瓷砖在炉体内堆砌出圆筒形氧化锆陶瓷保温桶;在氧化锆陶瓷保温桶外侧设置薄壁钼质圆筒。本发明的目的提供一种结构简单,
单晶炉的热屏外胆及单晶炉.pdf
本公开涉及一种单晶炉的热屏外胆及单晶炉,本单晶炉的热屏外胆包括筒体、锅底和法兰环;所述锅底位于所述筒体的下方,所述锅底的轴心处具有开口,所述锅底的顶部连接于所述筒体的底部;所述法兰环与所述筒体的顶部拼接并套设于所述筒体的顶部,所述法兰环与所述筒体可拆卸地连接,所述法兰环与所述筒体之间具有第一拼缝,所述第一拼缝的截面构造为折线型。本单晶炉的热屏外胆通过将法兰环与筒体之间的第一拼缝的截面设置为折线型,使得外部的热量和/或硅蒸汽在穿过第一拼缝时受到阻碍,从而可以大大降低外部的热量和/或硅蒸汽完全穿过第一拼缝的概
直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置,属于提高晶棒收率工艺的技术领域,所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°,当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°时,使得整个热场的温度得到改变,使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近,使得晶棒拉出后,晶棒的尾部的截面尽量接近水平,进而晶棒的收率提高。