制备硒化锌/硫化锌光学材料的设备、炉、炉用加热体.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102560638A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102560638A(43)申请公布日2012.07.11(21)申请号201110429545.0(51)Int.Cl.(22)申请日2011.12.16C30B28/00(2006.01)C30B35/00(2006.01)(30)优先权数据C30B29/46(2006.01)20101531912010.12.16RU(71)申请人天津津航技术物理研究所地址300308天津市南开区航天道58号(72)发明人吴志新宗杰甘硕文赵晓龙林峰张弢加里宾.E.A古谢夫.P.E杰米坚科.A.A杜纳耶夫.A.A扎伊耶夫.U.H马卡罗夫.A.H米罗诺夫.I.A阿法纳西耶夫.B.A克鲁托夫.M.A(74)专利代理机构核工业专利中心11007代理人李烨权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书55页页附图附图22页(54)发明名称制备硒化锌/硫化锌光学材料的设备、炉、炉用加热体(57)摘要本发明是针对采用气相沉积方法制备材料的设备，此设备可用于多晶块体材料的生长。特别地采用该设备可制备出以硒化锌为基底、表面涂有硫化锌的块体复合材料。制备硒化锌/硫化锌复合光学材料的设备包括炉，与控制面板、真空系统、水冷系统以及动力变压器相连。炉体内放置加热体，加热体内部装有反应容器，炉体内部装有隔热挡板，炉壁上有用于连接通风系统和真空系统的孔、温度传感器、真空传感器以及连接大气的通风开关，炉体与炉盖具有水冷结构。加热器由石墨制成，圆柱体结构，沿着它的高度方向开槽，加热体侧壁厚度是变化。该发明成果主要是对设备的工艺性能及其相应部件进行改善，最终获得热力学性能和力学性能较为理想的高品质光学材料。CN1025638ACN102560638A权利要求书1/1页1.制备硒化锌/硫化锌光学材料的设备，其特征在于：包括炉，所述炉与控制面板、真空系统、水冷系统以及动力变压器相连，控制面板本身通过动力变压器与水冷系统相连，水冷系统也与真空系统相连。2.制备硒化锌/硫化锌光学材料的炉，其特征在于：包括筒状结构的炉体，炉体内放置加热体，加热体内部装有反应容器，炉体上下端用盖封住，炉体内部装有隔热挡板，隔热挡板安装在炉体和加热体之间，隔热挡板包含：上部的隔热挡板，位于炉体上盖的下方；下部的隔热挡板，位于炉体下盖的上方；中间的隔热挡板，位于炉体和加热体的侧壁之间的；炉体上有用于连接炉通风系统和真空系统的孔、温度传感器、真空传感器、以及与大气相通的通风开关；测温热电偶通过炉体下盖连接到相应的传感器上，用于测量容器下方的温度；加热体底部与动力电缆相连，炉体和炉盖是水冷的。3.如权利要求2中所述制备硒化锌/硫化锌光学材料的炉，其特征在于：其炉体内放置的加热体，在炉壁的高度方向上厚度是变化的，所述加热体由石墨制成。4.制备硒化锌/硫化锌光学材料的炉用加热体，其特征在于：由石墨制成，外形为圆柱体，加热体厚度是：越向下越薄，越向上越厚。5.如权利要求4中所述的炉用加热体，其特征在于：加热体厚度变化呈阶梯特性。6.如权利要求5中所述中的炉用加热体，其特征在于：加热体厚度呈三级阶梯状。2CN102560638A说明书1/5页制备硒化锌/硫化锌光学材料的设备、炉、炉用加热体技术领域[0001]本发明是针对采用气相沉积法生长材料的设备，用于多晶块体材料的生长。特别地用于制备出以硒化锌为基底、表面涂有硫化锌的块体复合材料。背景技术[0002]用于生长多晶体材料的设备通常是一个完整的系统，在这个系统中，在真空条件下通过化学或物理沉积的方式从气相中提取多晶材料。此类设备的主要部分包括带加热组件的真空室、真空系统、控温系统和水冷系统。[0003]1997年2月10日俄罗斯联邦发布了一项专利，专利号№1774675，国际专利分类目录C30B23/00。该专利描述了用于生长多晶块体毛坯的容器，此容器下方为一蒸发小室，上方放置了过滤隔板，紧挨着隔板装配了带孔的薄板。在这个薄板上安装了一条带盖的蒸汽管道，蒸汽管道的内表面上以交替轴瓦的形式安装了底板支架。通过过滤组件，阻止了粉体内部坚硬粒子进入沉积室；薄板上的孔具有足够大的尺寸，以确保硒化锌毛坯的晶体颗粒度，并可对晶体尺寸进行调整，进一步提高毛坯的质量。[0004]上述设备可保障多晶硒化锌块体材料的生长。[0005]1995年4月30日俄罗斯联邦发布了一项专利，专利号№2034100，国际专利分类目录C30B25/00和C30B29/48。该专利描述了用于获取A2B6型多晶体过渡层的设备，此设备主要包括沉积室、加热器、蒸发器、预抽真空泵、沉积回路，并依据孔、盖以及减震垫片的形式配备了组装完成的分离器。[0006]由于提高了所制备的材料的均一性，进而达到了改善材料光学性能