一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102828237A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102828237A(43)申请公布日2012.12.19(21)申请号201210170245.X(51)Int.Cl.(22)申请日2012.05.22C30B23/00(2006.01)C30B29/68(2006.01)(30)优先权数据C30B29/46(2006.01)20115019342011.06.17RU(71)申请人天津津航技术物理研究所地址300192天津市南开区航天道58号(72)发明人吴志新宗杰甘硕文赵晓龙林峰张弢加里宾.E.A古谢夫.P.E杰米坚科.A.A杜纳耶夫.A.A扎伊耶夫.U.H马卡罗夫.A.H米罗诺夫.I.A阿法纳西耶夫.B.A克鲁托夫.M.A(74)专利代理机构核工业专利中心11007代理人高尚梅权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图22页(54)发明名称一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置(57)摘要本发明属于光学材料制备技术领域，具体涉及一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置。本发明的装置包括炉体、配电柜、控制柜、真空系统和冷却系统，控制柜通过真空系统、冷却系统、炉体内部的传感器进行控制、报警及记录数据；真空系统与炉体相连，用于对炉体进行抽真空操作；冷却系统与炉体及真空系统相连，用于对炉体及真空系统进行冷却处理；配电柜为装置提供动力电源。本发明解决了现有技术中采用化学气相沉积方法制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料中波红外波段光谱透过特性差、生产效率低的技术问题；采用真空条件下物理气相沉积原理制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料，产品中波红外波段光谱透过特性好，显著提高了生产效率。CN102837ACN102828237A权利要求书1/1页1.一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，包括炉体（4）和配电柜（5），其特征在于：还包括控制柜（1）、真空系统（2）和冷却系统（3），其中，控制柜（1）通过真空系统（2）、冷却系统（3）、炉体（4）内部的传感器对整个装置进行控制、报警及记录数据；真空系统（2）与炉体（4）相连接，用于对炉体（4）进行抽真空操作；冷却系统（3）与炉体（4）及真空系统（2）相连接，用于对炉体（4）及真空系统（2）进行冷却处理；配电柜（5）为整个装置提供动力电源。2.根据权利要求1所述的制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，其特征在于：所述控制柜（1）包括PLC可编程逻辑控制器和PC机；其中，通过PC机设定真空度、温度、气压、时间参数，并通过真空系统（2）、冷却系统（3）、炉体（4）内部的传感器监测参数数值；PLC可编程逻辑控制器与真空系统（2）、冷却系统（3）及炉体（4）通过数据线相连接，向其提供相关控制指令。3.根据权利要求2所述的制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，其特征在于：所述PLC可编程逻辑控制器型号为MitsubishiFX3U-64M型。4.根据权利要求2所述的制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，其特征在于：所述控制柜（1）还包括报警组件，当所述PC机监测数据超过工作人员设定的安全范围时，报警组件进行报警。5.根据权利要求4所述的制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，其特征在于：所述报警组件为声光信号报警设备。6.根据权利要求2所述的制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，其特征在于：所述真空系统（2）与炉体（4）通过不锈钢管路相连接，其根据所述控制柜（1）中PLC可编程逻辑控制器发布的控制指令对炉体（4）进行抽真空操作；所述不锈钢管路设有真空传感器，其监测数据通过数据线传输至控制柜（1）中PC机。7.根据权利要求2所述的制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，其特征在于：所述冷却系统（3）通过管路与炉体（4）和真空系统（2）相连接，其设有水压传感器，监测数据通过数据线传输至控制柜（1）中PC机。8.根据权利要求2所述的制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，其特征在于：所述炉体（4）包括炉壳、电极、加热体、热电偶和通风管路；炉壳为设有上盖的双层水冷结构壳体，其上部设有通风管路；加热体由石墨材料制成，其整体形状为上部开敞、下部密封的圆柱形壳体，其侧壁呈阶梯状，其外部设有石墨硬毡保温层，加热体放置于炉壳内部；加热体内部设有坩埚；电极安装于炉壳下部，其位于炉壳内部的部分为石墨材料，与所述加热体相连接，其位于炉壳外部的部分为金属材料，与配电柜（5）相连接；热电偶用于测量炉体内温度，其监测数据通过数据线传输至控制柜（1）中PC机。9.根据权利要求8所述的制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，其特征在于：分别在炉壳的上部、中部、下部各设有一个热电偶。10.根据权利要求1或2所述的制备硒化锌/硫