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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106637137A(43)申请公布日2017.05.10(21)申请号201710018736.5(22)申请日2017.01.10(71)申请人峨眉山市元素新材料科技有限公司地址614216四川省乐山市峨眉山市符溪镇兴喜路5号创客梦工厂内(72)发明人李小刚(74)专利代理机构成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230代理人杨保刚(51)Int.Cl.C23C16/455(2006.01)C23C16/30(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称高效节能硒化锌气相沉积炉(57)摘要本发明公开了一种高效节能硒化锌气相沉积炉,包括炉本体,所述炉本体上设有反应气体进气管道,所述炉本体与尾气处理系统连通,所述炉本体内设有气体分布装置,所述气体分布装置包括内筒和外筒,所述内筒套设在外筒的内部并且内筒与外筒之间形成密封的空腔,所述空腔内设置有螺旋向下的螺旋导流板,所述反应气体进气管道与空腔的上部连通,所述内筒上设有若干通气孔。本发明相对于现有技术中喷气嘴直接喷射的方式,反应气体气流分布更加均匀,提高了沉积质量,同时减少了反应气体的浪费,提高资源的利用率。CN106637137ACN106637137A权利要求书1/1页1.一种高效节能硒化锌气相沉积炉,包括炉本体,所述炉本体上设有反应气体进气管道,所述炉本体与尾气处理系统连通,其特征在于:所述炉本体内设有气体分布装置,所述气体分布装置包括内筒和外筒,所述内筒套设在外筒的内部并且内筒与外筒之间形成密封的空腔,所述空腔内设置有螺旋向下的螺旋导流板,所述反应气体进气管道与空腔的上部连通,所述内筒上设有若干通气孔。2.根据权利要求1所述的高效节能硒化锌气相沉积炉,其特征在于:所述螺旋导流板连接在外筒上,并且螺旋导流板的宽度从上至下逐渐减小。3.根据权利要求1所述的高效节能硒化锌气相沉积炉,其特征在于:所述内筒内壁上设有弧形挡板,所述弧形挡板沿通气孔下沿设置且弧形挡板的开口倾斜向上设置。4.根据权利要求3所述的高效节能硒化锌气相沉积炉,其特征在于:所述弧形挡板的宽度从上至下逐渐减小。5.根据权利要求1所述的高效节能硒化锌气相沉积炉,其特征在于:所述炉本体内设有电加热丝,所述电加热丝包括第一段加热丝、第二段加热丝和第三段加热丝。6.根据权利要求1所述的高效节能硒化锌气相沉积炉,其特征在于:所述炉本体还设有隔热保温层。7.根据权利要求1至6任意一项所述的高效节能硒化锌气相沉积炉,其特征在于:所述尾气处理系统包括依次连通的除尘器、水过滤装置和抽真空系统。2CN106637137A说明书1/3页高效节能硒化锌气相沉积炉技术领域[0001]本发明涉及一种硒化锌合成装置,特别涉及一种高效节能硒化锌气相沉积炉。背景技术[0002]硒化锌(ZnSe)材料是一种黄色透明的多晶材料,结晶颗粒大小约为70μm,透光范围0.5-15μm。由化学气相沉积(CVD)方法合成的硒化锌基本不存在杂质吸收,散射损失极低。由于对10.6μm波长光的吸收很小,因此成为制作高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料。此外在其整个透光波段内,也是在不同光学系统中所普遍使用的材料。[0003]化学气相沉积(CVD)是利用化学气相沉积原理,将参与化学反应的物质加热到一定工艺温度,用惰性气体载流的方法将它们引至反应区反应沉积,生成固态物质。为了得到工艺要求,此沉积过程一般需要连续工作两天左右,为了更好的制备高质量的产品,沉积环境要求在非常洁净的环境下进行。[0004]其中硒化锌制备过程是在圆筒形高温正压蒸发壳体底部的圆形坩埚容器中放入原料锌加热成蒸汽,另一个圆形坩埚容器中放入硒加热成蒸汽,以Ar为载体输送到温度高于950℃的反应室里,进入到反应室中的硒蒸汽和锌蒸汽开始实现气相反应:Zn+Se=ZnSe。[0005]现有技术中关于气相沉积的技术文献也较多,例如申请号为201410040254.6的发明专利公开了一种化学气相沉积设备,它包括壳体、反应系统以及位于壳体和反应系统之间的加热元件,在壳体的内部设有反应系统,反应系统包括原料供应装置和反应室,在原料供应装置和反应室的壳体内壁上设有加热元件,壳体包括壳本体和门,壳本体和门共同围合成一内腔,所述内腔为长方体形状,所述门能够敞开或者封闭所述内腔的一个面。申请号为201521042165.1的实用新型专利公开了一种化学气相沉积装置,它包括加热炉,加热炉具有密闭的炉膛和设置在炉膛外周的加热体,炉膛中部设置有热电偶,炉膛具有气体入口和气体出口。[0006]但是,现有的气相沉积炉都是采用喷气嘴直接喷射的方式通入反应气体,这种方式导致反应气体气流分布不均匀,从而导致沉积质量差,同时由于气流拱动较大,导致