高效节能硒化锌气相沉积炉.pdf
静芙****可爱
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高效节能硒化锌气相沉积炉.pdf
本发明公开了一种高效节能硒化锌气相沉积炉,包括炉本体,所述炉本体上设有反应气体进气管道,所述炉本体与尾气处理系统连通,所述炉本体内设有气体分布装置,所述气体分布装置包括内筒和外筒,所述内筒套设在外筒的内部并且内筒与外筒之间形成密封的空腔,所述空腔内设置有螺旋向下的螺旋导流板,所述反应气体进气管道与空腔的上部连通,所述内筒上设有若干通气孔。本发明相对于现有技术中喷气嘴直接喷射的方式,反应气体气流分布更加均匀,提高了沉积质量,同时减少了反应气体的浪费,提高资源的利用率。
气相沉积炉的均匀供气装置及气相沉积炉.pdf
本发明揭示了气相沉积炉的均匀供气装置及气相沉积炉,气相沉积炉的均匀供气装置,包括至少一条呈T字形的匀气管路,所述匀气管路的出气孔的朝向与反应气体的上升方向相反且背向工件。本发明设计精巧,通过设置出气孔的朝向,能够使反应气体流出后逐步的扩散到工件区域,避免了一个气口直接朝向工件供气时易造成气流冲击以及易使反应气体集中于某一区域,造成反应气体分布不均匀的问题,能够保证反应气体供应的均匀性,有利于提高薄膜沉积的质量。
气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉.pdf
本发明揭示了气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉,包括至少两个间隙设置的加热板,所述加热板在与它们平行的同一投影面上的投影重合,且相邻加热板之间的间隙形成用于放置工件的加热空间,每个所述加热板的两端分别连接一石墨电极,每个所述石墨电极连接用于连接电源的铜电极。本发明设计精巧,通过在两个加热板的间隙之间形成用于放置工件的加热空间,两个加热板同时从两个相反方向直接对工件进行加热,一来具有更高的加热效率,减少热传递过程的热损耗,有利于降低能耗;同时,两面同时加热,有利于保证加热的均匀性,避免工件受热不均。
化学气相沉积炉.pdf
本发明提供了一种化学气相沉积炉,其包括:炉体;上炉盖,设置在炉体上部,与炉体密封且可拆装式固定连接;下炉盖,设置在炉体下部,与炉体密封可拆装式固定连接;以及下炉盖升降机构,与下炉盖固定连接,以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。所述化学气相沉积炉还可包括:前后推送机构,设置于下炉盖的正下方,前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围,以进行出装料。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层。由此,能够避免在反复拆装的过
化学气相沉积炉.pdf
本发明的目的在于提供一种气相沉积炉,该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具,进气口在炉体底部或顶部,其特征在于:在炉体内或炉体外设有旋转机构,所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成,电机通过伞齿轮组与转盘相连,齿轮通过连接轴固定在转盘上,齿套在所有齿轮外围固定,并与齿轮啮合,转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转,每个齿轮上都吊挂或直立一个模具,模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品,能够提高PBN产品质量及其生产效