单晶炉加热器螺丝的装卸工具.pdf
一吃****瀚文
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单晶炉加热器螺丝的装卸工具.pdf
本发明公开一种单晶炉加热器螺丝的装卸工具,包括套头和把手,所述套头的内口为正六边形结构,其一端与把手相连接;所述单晶炉加热器螺丝的装卸工具不仅结构简单,易于实现,且通过焊接的把手,从而避免了高温环境,此外,套头正六边形内口相邻两边处开的圆弧形凹槽,有效避免石墨螺丝的边角与不锈钢接触发生损伤而造成的螺丝头部断裂,从而避免了因拿不出加热器而致使贵重的加热器报废的问题。
单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf
本公开实施例提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉,所述单晶炉热场加热器,包括:加热器主体,所述加热器主体为环绕单晶炉热场内的坩埚设置的筒状结构,包括顶部开口端、底部开口端、及位于所述顶部开口端与所述底部开口端之间的外周侧面;及,绝缘保护罩,所述绝缘保护罩为筒状罩体,罩设于所述加热器主体外,且至少覆盖住所述筒状结构的顶部开口端、所述筒状结构的底部开口端和所述筒状结构的外周侧面。本公开实施例的单晶炉热场加热器及单晶炉,能够阻止氩气流对加热器的侵蚀及SiO
单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf
本公开提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉,包括:底部加热器,底部加热器包括加热器主体和罩设于加热器主体外的绝缘保护罩,底部加热器通过绝缘轴承套固定于坩埚的坩埚轴上;至少一组导向组件,导向组件包括导轨和滑动件,导轨设置在底部加热器的侧面,导轨的导向方向与坩埚轴的轴向相同,滑动件连接至底部加热器,且滑动件以可移动方式设置在导轨上,滑动件在底部加热器带动下沿导轨运动。本公开提供的单晶炉热场加热器及单晶炉,阻止了氩气流对加热器主体的侵蚀及SiO
单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf
本公开实施例提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉,所述单晶炉热场加热器包括:边部主加热器及辅助加热器,所述边部主加热器和所述辅助加热器均为两端开口的筒状结构,所述边部主加热器和所述辅助加热器均包括相对的顶部开口端和底部开口端;所述辅助加热器套设于所述边部主加热器外,且所述辅助加热器的顶部开口端伸出所述边部主加热器的顶部开口端外。本公开实施例提供的单晶炉热场加热器及单晶炉,具有加热效果好、升温快、热场温度稳定等特点,有利于长晶过程中晶棒的无缺陷生长,提高晶棒的良率。
单晶炉加热器.pdf
本发明涉及单晶炉加热器,包括:本体,所述本体包括多个加热部,多个所述加热部首尾相连围设成环状,每个加热部包括多个加热板;加热器腿,所述加热器腿位于两个加热部之间;第一连接件和第二连接件,其中,相邻的两个所述加热部通过所述第一连接件相连接,所述加热器腿与其相邻的两个加热部通过第二连接件相连接。本发明实施例的单晶炉加热器,各个部件可以单独加工,装配使用,避免了单晶炉加热器通过整块石墨材料加工而成,较大的减少了石墨材料的使用,从而有效的降低了单晶炉加热器的成本,且在使用一段时间后,只需要将老化的部件进行更换而无