单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112779595A(43)申请公布日2021.05.11(21)申请号202011543439.0(22)申请日2020.12.23(71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司地址710065陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室申请人西安奕斯伟材料技术有限公司(72)发明人杨文武沈福哲(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静张博(51)Int.Cl.C30B15/14(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称单晶炉热场加热器及单晶炉(57)摘要本公开提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉，包括：底部加热器，底部加热器包括加热器主体和罩设于加热器主体外的绝缘保护罩，底部加热器通过绝缘轴承套固定于坩埚的坩埚轴上；至少一组导向组件，导向组件包括导轨和滑动件，导轨设置在底部加热器的侧面，导轨的导向方向与坩埚轴的轴向相同，滑动件连接至底部加热器，且滑动件以可移动方式设置在导轨上，滑动件在底部加热器带动下沿导轨运动。本公开提供的单晶炉热场加热器及单晶炉，阻止了氩气流对加热器主体的侵蚀及SiO2在加热器主体上的沉积，提高加热器使用寿命，减少热量损失，保证了坩埚底部温度场的恒定，避免了硅溶液沉积，提升晶棒的整体品质。CN112779595ACN112779595A权利要求书1/2页1.一种单晶炉热场加热器组件，其特征在于，包括：设置于单晶炉热场内的坩埚底部的底部加热器，所述底部加热器包括加热器主体和罩设于所述加热器主体外的绝缘保护罩，所述加热器主体的中部设第一通孔，所述绝缘保护罩与所述第一通孔对应的位置设有第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔内设有绝缘轴承套，所述底部加热器通过所述绝缘轴承套固定于所述坩埚的坩埚轴上，以使所述底部加热器在所述坩埚轴带动下运动；及，至少一组导向组件，所述导向组件包括导轨和滑动件，所述导轨设置在所述底部加热器的侧面，所述导轨的导向方向与所述坩埚轴的轴向相同，所述滑动件连接至所述底部加热器，且所述滑动件以可移动方式设置在所述导轨上，所述滑动件在所述底部加热器带动下沿所述导轨运动。2.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述加热器主体呈盘型结构，包括相背设置的第一盘面和第二盘面，所述第一盘面为面向所述坩埚底部的一面，所述第二盘面为背向所述坩埚底部的一面；所述绝缘保护罩包括相互扣合的第一罩体和第二罩体，所述第一罩体罩设于所述第一盘面所在一侧，所述第二罩体罩设于所述第二盘面一侧。3.根据权利要求2所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述第一罩体包括面向所述加热器主体的下侧面和与所述内侧面相背设置的上侧面，其中在所述上侧面上，围绕所述上侧面的四周设有凸起的一圈防漏凸沿，所述上侧面与所述防漏凸沿配合，围设形成用于盛放所述坩埚内泄露液的容置腔，在所述防漏凸沿上设有引流口。4.根据权利要求3所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述单晶炉热场加热器组件还包括：用于向所述底部加热器施加电信号的两个电极；所述加热器主体上设有两个电接入端，所述绝缘保护罩上设有开口，所述电接入端自所述开口伸出所述绝缘保护罩；所述导向组件至少有两组，并分别设置在所述底部加热器的相对两侧，每一所述电接入端通过一组所述导向组件与一个所述电极电连接；其中，一组所述导向组件中，所述导轨与所述滑动件之间电连接，所述滑动件与对应的所述电接入端电连接，所述导轨与对应的所述电极连接。5.根据权利要求4所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述导向组件还包括：第一转接头和第二转接头；所述第一转接头为套环结构，所述第二转接头为板状结构；所述电接入端与所述第二转接头之间通过所述第一转接头固定连接；所述第二转接头上设有第一螺纹孔，所述滑动件包括连接杆和滑块，所述滑块可移动设置在所述导轨上，所述连接杆为L型杆，包括弯折设置的第一段和第二段，所述第一段上设有外螺纹，所述第一段穿过所述第一螺纹孔内，以与所述第二转接头进行螺纹连接，并通过螺母紧固，所述第二段与所述滑块连接。6.根据权利要求4所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述导轨包括轨道部和连接部，所述轨道部沿所述坩埚轴的轴向方向延伸，所述连接部与所述轨道部之间呈夹角，所述连接部上设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔内穿装螺栓，2CN112779595A权利要求书2/2页所述螺栓与所述电极电连接。7.根据权利要求5所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述第一转接头、所述第二转接头、所述连接杆、所述滑动件及所述导轨均为导体，以使所述电接入端与所述电极通过所述导向组件进行电连接。8.根据权利要求4所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所