单晶炉加热器.pdf
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单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf
本公开实施例提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉,所述单晶炉热场加热器,包括:加热器主体,所述加热器主体为环绕单晶炉热场内的坩埚设置的筒状结构,包括顶部开口端、底部开口端、及位于所述顶部开口端与所述底部开口端之间的外周侧面;及,绝缘保护罩,所述绝缘保护罩为筒状罩体,罩设于所述加热器主体外,且至少覆盖住所述筒状结构的顶部开口端、所述筒状结构的底部开口端和所述筒状结构的外周侧面。本公开实施例的单晶炉热场加热器及单晶炉,能够阻止氩气流对加热器的侵蚀及SiO
单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf
本公开提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉,包括:底部加热器,底部加热器包括加热器主体和罩设于加热器主体外的绝缘保护罩,底部加热器通过绝缘轴承套固定于坩埚的坩埚轴上;至少一组导向组件,导向组件包括导轨和滑动件,导轨设置在底部加热器的侧面,导轨的导向方向与坩埚轴的轴向相同,滑动件连接至底部加热器,且滑动件以可移动方式设置在导轨上,滑动件在底部加热器带动下沿导轨运动。本公开提供的单晶炉热场加热器及单晶炉,阻止了氩气流对加热器主体的侵蚀及SiO
单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf
本公开实施例提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉,所述单晶炉热场加热器包括:边部主加热器及辅助加热器,所述边部主加热器和所述辅助加热器均为两端开口的筒状结构,所述边部主加热器和所述辅助加热器均包括相对的顶部开口端和底部开口端;所述辅助加热器套设于所述边部主加热器外,且所述辅助加热器的顶部开口端伸出所述边部主加热器的顶部开口端外。本公开实施例提供的单晶炉热场加热器及单晶炉,具有加热效果好、升温快、热场温度稳定等特点,有利于长晶过程中晶棒的无缺陷生长,提高晶棒的良率。
单晶炉加热器.pdf
本发明涉及单晶炉加热器,包括:本体,所述本体包括多个加热部,多个所述加热部首尾相连围设成环状,每个加热部包括多个加热板;加热器腿,所述加热器腿位于两个加热部之间;第一连接件和第二连接件,其中,相邻的两个所述加热部通过所述第一连接件相连接,所述加热器腿与其相邻的两个加热部通过第二连接件相连接。本发明实施例的单晶炉加热器,各个部件可以单独加工,装配使用,避免了单晶炉加热器通过整块石墨材料加工而成,较大的减少了石墨材料的使用,从而有效的降低了单晶炉加热器的成本,且在使用一段时间后,只需要将老化的部件进行更换而无
直拉单晶炉加热器.pdf
本发明涉及直拉单晶硅领域,提供了一种直拉单晶炉加热器,包括加热器主体、以及开设在加热器主体侧壁上的斜开槽,其中加热器主体呈筒状,斜开槽沿加热器主体的轴向开设,斜开槽的侧壁与加热器主体的圆弧法线呈夹角设置,该加热器结构简单,并可以有效解决发热不均的问题。