单晶炉热场加热器及单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114075692A(43)申请公布日2022.02.22(21)申请号202010838279.6(22)申请日2020.08.19(71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司地址710000陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司(72)发明人杨文武沈福哲(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静张博(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称单晶炉热场加热器及单晶炉(57)摘要本公开实施例提供了一种单晶炉热场加热器及单晶炉，所述单晶炉热场加热器，包括：加热器主体，所述加热器主体为环绕单晶炉热场内的坩埚设置的筒状结构，包括顶部开口端、底部开口端、及位于所述顶部开口端与所述底部开口端之间的外周侧面；及，绝缘保护罩，所述绝缘保护罩为筒状罩体，罩设于所述加热器主体外，且至少覆盖住所述筒状结构的顶部开口端、所述筒状结构的底部开口端和所述筒状结构的外周侧面。本公开实施例的单晶炉热场加热器及单晶炉，能够阻止氩气流对加热器的侵蚀及SiO2的沉积，提高加热器的使用寿命，同时减少加热器的热量损失，减少成本。CN114075692ACN114075692A权利要求书1/2页1.一种单晶炉热场加热器，其特征在于，包括：加热器主体，所述加热器主体为环绕单晶炉热场内的坩埚设置的筒状结构，包括顶部开口端、底部开口端、及位于所述顶部开口端与所述底部开口端之间的外周侧面；及，绝缘保护罩，所述绝缘保护罩为筒状罩体，罩设于所述加热器主体外，且至少覆盖住所述筒状结构的顶部开口端、所述筒状结构的底部开口端和所述筒状结构的外周侧面。2.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器，其特征在于，所述加热器主体包括多个U型加热柱单元，多个所述U型加热柱单元依次连接而环绕成所述筒状结构，其中相邻的两个U型加热柱单元中，一个U型加热柱单元的开口朝向所述顶部开口端，另一个U型加热柱单元的开口朝向所述底部开口端，以使所述加热器主体的轮廓呈蛇形曲线结构。3.根据权利要求2所述的单晶炉热场加热器，其特征在于，每一所述U型加热柱包括：相互平行的两根竖向直加热柱，所述竖向直加热柱的延伸方向与所述筒状结构的轴线方向平行；及，连接于所述两根竖向直加热柱之间的弧状或直线状横向加热柱；其中，两根所述竖向直加热柱之间在所述筒状结构的周向方向上具有间隙，所述间隙在所述筒状结构的周向方向上的宽度大于或等于所述竖向直加热柱在所述筒状结构的周向方向上的宽度。4.根据权利要求3所述的单晶炉热场加热器，其特征在于，所述竖向直加热柱的在所述筒状结构的周向方向上的宽度为15～20mm，所述竖向直加热柱的横截面面积为150～200mm2；且所述竖向直加热柱自所述筒状结构的所述顶部开口端至所述底部开口端的长度为320～350mm。5.根据权利要求3所述的单晶炉热场加热器，其特征在于，所述绝缘保护罩的内侧壁上设有用于支撑所述加热器主体的多个支撑体，每一U型加热柱单元的两根所述竖向直加热器之间的间隙内设置至少一个所述支撑体。6.根据权利要求5所述的单晶炉热场加热器，其特征在于，多个支撑体包括交替设置的多个第一支撑柱和多个第二支撑柱，所述第一支撑柱设置于开口朝向所述顶部开口端的U型加热柱单元的两根竖向直加热柱之间的间隙内，所述第二支撑柱设置于开口朝向所述底部开口端的U型加热柱单元的两根竖向直加热柱之间的间隙内。7.根据权利要求6所述的单晶炉热场加热器，其特征在于，所述绝缘保护罩包括第一罩体和第二罩体，其中，所述第一罩体包括：环状的顶部遮挡板，所述顶部遮挡板遮挡所述加热器主体的顶部开口端；及，侧面遮挡板，所述侧面遮挡板环绕所述加热器主体的外周侧，并与所述顶部遮挡板固定连接，多个所述第一支撑柱沿所述顶部遮挡板的周向均匀分布，并固定在所述侧面遮挡板的内侧壁上；所述第二罩体包括：环状的底部遮挡板，所述底部遮挡板遮挡所述加热器主体的底部开口端；及，沿所述底部遮挡板的周向均匀分布的多个所述第二支撑柱，多个所述第二支撑柱固定在所述底部遮挡板上；2CN114075692A权利要求书2/2页多个所述第二支撑柱插入所述侧面遮挡板内，以将所述第一罩体和所述第二罩体扣合。8.根据权利要求6所述的单晶炉热场加热器，其特征在于，所述绝缘保护罩包括第一罩体和第二罩体，其中，所述第一罩体包括：环状的底部遮挡板，所述底部遮挡板遮挡所述加热器主体的底部开口端；及，侧面遮挡板，所述侧面遮挡板环绕所述加热器主体的外周侧，并与所述底部遮挡板固定连接，多个所述第二支撑柱沿所述底部遮挡板的周向均匀分布，并固定在所述侧面遮挡板的内侧壁上