一种扩散炉的柔性密封启闭装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102586885A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102586885A(43)申请公布日2012.07.18(21)申请号201210074861.5(22)申请日2012.03.20(71)申请人常州亿晶光电科技有限公司地址213213江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号(72)发明人钱杰(51)Int.Cl.C30B31/06(2006.01)F27B5/04(2006.01)F27B5/06(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图22页(54)发明名称一种扩散炉的柔性密封启闭装置(57)摘要本发明涉及一种扩散炉的柔性密封启闭装置，包括炉门、垂直气缸和气杆固定缸体可自由移动的水平气缸，所述垂直气缸的缸体部位固定在水平气缸的缸体部位上，垂直气缸的气杆与炉门固定，水平气缸与石英管平行设置在同一平面内，位于石英管侧的水平气缸的气杆上还具有用于限定炉门位置的限位装置，限位装置包括均套装在水平气缸气杆上的固定块、滑块和固定在固定块和滑块之间的弹簧，所述滑块固定连接在水平气缸的缸体上，所述固定块固定在水平气缸气杆上。本发明通过在控制炉门的水平气缸的气杆上装一个带有弹簧的限位装置，限位装置能限定炉门的位置，给炉门减速，防止炉门与石英管的硬性接触导致的石英管破裂和炉门损坏的问题。CN102586ACN102586885A权利要求书1/1页1.一种扩散炉的柔性密封启闭装置，用于防止炉门(1)与石英管(2)的硬性接触，包括炉门(1)、垂直气缸(3)和气杆固定缸体可自由移动的水平气缸(4)，所述垂直气缸(3)的缸体部位固定在水平气缸(4)的缸体部位上，垂直气缸(3)的气杆与炉门(1)固定，所述水平气缸(4)与石英管(2)平行设置在同一平面内，其特征在于：位于石英管(2)侧的水平气缸(4)的气杆上还具有用于限定炉门(1)位置的限位装置(5)，所述限位装置(5)包括均套装在水平气缸(4)气杆上的固定块(51)、滑块(52)和固定在固定块(51)和滑块(52)之间的弹簧(53)，所述滑块(52)固定连接在水平气缸(4)的缸体上，所述固定块(51)固定在水平气缸(4)气杆上。2.如权利要求1所述的一种扩散炉的柔性密封启闭装置，其特征在于：所述固定块(51)两侧面开有两个采用螺丝(6)锁紧固定块(51)的螺孔(511)，固定块(51)上表面开有一个通孔(512)，所述螺孔(511)与通孔(512)垂直连通。3.如权利要求1所述的一种扩散炉的柔性密封启闭装置，其特征在于：所述弹簧(53)的内径大于水平气缸(4)气杆的直径1～2mm。2CN102586885A说明书1/2页一种扩散炉的柔性密封启闭装置技术领域[0001]本发明涉及一种扩散炉的柔性密封启闭装置，主要用于软着陆扩散炉。背景技术[0002]太阳能是一种洁净、无污染且可以循环利用的可再生能源，把太阳能转换为电能的太阳能电池制造技术是有效利用太阳能的一项重要技术。目前，扩散洁净度要求比较高，且高温，因此大多数器件都是石英材料。而所使用的石英为含硅量为99.9％以上的高纯度材料，且耐1300度以上高温、耐酸、耐碱，因此一个合格的石英器件所需的制造价很高，石英制品通常存在易碎的缺点，能够最大程度的延长石英器件的使用寿命是减少石英的损耗，节约成本的关键。而炉门与石英管的硬性接触容易导致石英管管口出现大量崩点，严重的会导致石英管破裂，炉门损坏。发明内容[0003]本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术的不足，防止炉门和石英管的硬性接触，提供了一种扩散炉的柔性密封启闭装置。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散炉的柔性密封启闭装置，用于防止炉门与石英管的硬性接触，包括炉门、垂直气缸和气杆固定缸体可自由移动的水平气缸，所述垂直气缸的缸体部位固定在水平气缸的缸体部位上，垂直气缸的气杆与炉门固定，所述水平气缸与石英管平行设置在同一平面内，位于石英管侧的水平气缸的气杆上还具有用于限定炉门位置的限位装置，所述限位装置包括均套装在水平气缸气杆上的固定块、滑块和固定在固定块和滑块之间的弹簧，滑块固定连接在水平气缸的缸体上，固定块固定在水平气缸气杆上。[0005]为了能够方便固定住限位装置，所述固定块两侧面开有两个采用螺丝锁紧固定块的螺孔，固定块上表面开有一个通孔，所述螺孔与通孔垂直连通。当选择好固定位置后，只需将螺丝拧入螺孔锁紧即可。[0006]为了便于滑块和弹簧在气杆上滑动，但又不至于太松动，所述弹簧的内径大于水平气缸气杆的直径1～2mm。[0007]本发明的有益效果是，本发明的一种扩散炉的柔性密封启闭装置，通过在控制炉门的水平气缸的气杆上装一个带有弹簧的限位装置，限位装置能限定炉门的位置，给炉门减速，防止炉