一种扩散炉的炉门密封装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103363808A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103363808103363808A(43)申请公布日2013.10.23(21)申请号201310312585.6(22)申请日2013.07.24(71)申请人江苏能华微电子科技发展有限公司地址215600江苏省苏州市张家港市国泰北路1号省开发区科技创业园(72)发明人曹文朱廷刚朱廷勇(74)专利代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司32103代理人孙仿卫汪青(51)Int.Cl.F27D1/18(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图3页附图3页(54)发明名称一种扩散炉的炉门密封装置(57)摘要本发明涉及一种扩散炉的炉门密封装置，包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，第一水套套设在管件上，第二水套连接在管件的端部并与第一水套相连接，炉门连接在第二水套上，第一密封圈设置在第一水套、第二水套之间，第二密封圈设置在第二水套与管件的端部之间，第三密封圈设置在第二水套与炉门之间。本发明通过在炉门与管件之间增设不锈钢水套、密封件，将炉门与管件之间进行密封，同时用冷却水在不锈钢水套里进行冷却保证了密封件不被高温融化而失去密封性，解决了闭管扩散要求，大大提高了密封性的同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。CN103363808ACN10368ACN103363808A权利要求书1/1页1.一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套设在所述的管件上，所述的第二水套连接在所述的管件的端部并与所述的第一水套相连接，所述的炉门连接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈设置在所述的第一水套、第二水套之间，所述的第二密封圈设置在所述的第二水套与管件的端部之间，所述的第三密封圈设置在所述的第二水套与炉门之间。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第二水套与第一水套连接一侧内圈的端部具有向外侧倾斜的锥面，所述的第一密封圈设置在所述的第二水套倾斜的锥面与所述的第一水套之间。3.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的炉门上设置有炉门冷却水管，所述的炉门冷却水管具有炉门冷却水入口、炉门冷却水出口。4.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第一水套上设置有第一水套冷却水管，所述的第一水套冷却水管具有第一水套冷却水入口、第一水套冷却水出口。5.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第二水套上设置有第二水套冷却水管，所述的第二水套冷却水管具有第二水套冷却水入口、第二水套冷却水出口。6.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第二水套上开设有气体入口、气体出口，所述的气体出口连接有石英气管，所述的石英气管能够伸入至所述的管件的尾端。7.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第一密封圈、第三密封圈为O型密封圈；所述的第二密封圈为四氟密封圈。8.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的炉门为不锈钢炉门；所述的第一水套、第二水套均为不锈钢水套。9.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的管件为石英管。10.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第一水套、第二水套之间通过法兰相连接。2CN103363808A说明书1/3页一种扩散炉的炉门密封装置技术领域[0001]本发明涉及一种扩散炉的炉门密封装置。背景技术[0002]目前，现有的扩散炉的密封性比较差，在需要通入有毒害的气体时，很难达到漏率要求。基于对MOCVD（金属有机化合物化学气相沉淀）的石墨盘进行清理，大多设备都是价格高，不经济，清洗效果不佳，清理成本高。发明内容[0003]本发明的目的是提供一种扩散炉的炉门密封装置，适用于对半导体晶片进行扩散，氧化，退火，合金及烧结等工艺的扩散炉。[0004]为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种扩散炉的炉门密封装置，包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套设在所述的管件上，所述的第二水套连接在所述的管件的端部并与所述的第一水套相连接，所述的炉门连接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈设置在所述的第一水套、第二水套之间，所述的第二密封圈设置在所述的第二水套与管件的端部之间，所述的第三密封圈设置在所述的第二水套与炉门之间。[0005]优选地，所述