一种低压扩散炉炉门密封装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106048731A(43)申请公布日2016.10.26(21)申请号201610660200.9(22)申请日2016.08.12(71)申请人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司地址518000广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷（涌鑫工业园）D栋(72)发明人杨宝立张勇(74)专利代理机构深圳市康弘知识产权代理有限公司44247代理人胡朝阳尹彦(51)Int.Cl.C30B31/10(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称一种低压扩散炉炉门密封装置(57)摘要本发明公开了一种低压扩散炉炉门密封装置，包括：由前至后依次排列且同轴设置的炉门、固定轴及固定座，炉门的后端面中心固定有轴承座，轴承座内设有向心关节轴承，向心关节轴承的外圈固定在轴承座内，向心关节轴承的内圈固定套在固定轴的前端，固定轴的后端固定在固定座内，固定座的前端面还固定有支撑板，支撑板上设有间隔设有多个弹簧调整组件。本发明具有自动校正功能，能更好的满足低压扩散炉反应腔的密封要求。CN106048731ACN106048731A权利要求书1/1页1.一种低压扩散炉炉门密封装置，包括：由前至后依次排列且同轴设置的炉门（1）、固定轴（2）及固定座（3），其特征在于，所述炉门（1）的后端面中心固定有轴承座（6），所述轴承座（6）内设有向心关节轴承（4），所述向心关节轴承（4）的外圈固定在所述轴承座（6）内，所述向心关节轴承（4）的内圈固定套在所述固定轴（2）的前端，所述固定轴（2）的后端固定在所述固定座（3）内；所述固定座（3）的前端面还固定有支撑板（8），所述支撑板（8）上设有间隔设有多个弹簧调整组件，至少有三个所述弹簧调整组件以所述炉门（1）的轴线为中心均匀排列；所述弹簧调整组件包括：固定在所述支撑板（8）上的调整套筒（9），设于所述调整套筒（9）内的调整螺钉（10），后端设在所述调整套筒（9）内、前端向所述炉门（1）伸出的顶柱（12），设于所述调整套筒（9）内的弹簧（11），所述弹簧（11）的两端压缩在所述调整螺钉（10）与所述顶柱（12）之间。2.如权利要求1所述的低压扩散炉炉门密封装置，其特征在于，所述顶柱（12）由位于所述调整套筒（9）内的后圆柱和伸出所述调整套筒（9）外的前圆柱构成，所述后圆柱直径大于前圆柱直径，所述调整套筒（9）的前端设有恰好容纳所述前圆柱活动穿过的伸缩孔。3.如权利要求2所述的低压扩散炉炉门密封装置，其特征在于，所述调整套筒（9）的后端内侧壁设有内调整螺纹，所述调整螺钉（10）的外侧壁设有与所述内调整螺纹配合的外调整螺纹，转动所述调整螺钉（10）可调整其在所述调整套筒（9）内的前后位置。4.如权利要求1至3任一项所述的低压扩散炉炉门密封装置，其特征在于，所述炉门（1）的后端面还固定至少一个防转销（18），所述支撑板（8）上设有直径大于所述防转销（18）的限位孔，所述防转销（18）伸入该限位孔内。5.如权利要求4所述的低压扩散炉炉门密封装置，其特征在于，所述支撑板（8）上设有四个弹簧调整组件，其中两个弹簧调整组件位于所述炉门（1）的上部两侧，另外两个弹簧调整组件呈直线排列在所述炉门（1）的下部中间。6.如权利要求5所述的低压扩散炉炉门密封装置，其特征在于，所述炉门（1）上固定有三个以所述炉门（1）的轴线为中心均匀排列的防转销（18），其中两个防转销（18）位于所述炉门（1）的下部两侧，另外一个防转销（18）位于所述炉门（1）的上部中间。2CN106048731A说明书1/3页一种低压扩散炉炉门密封装置技术领域[0001]本发明涉及扩散炉的炉门，尤其涉及一种低压扩散炉炉门密封装置。背景技术[0002]在光伏行业中，高温扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂形成PN结。随着扩散工艺的发展，传统的高温扩散炉的掺杂均匀性无法满足先进电池工艺路线的技术需求，低压扩散炉应运而生，然而低压扩散工艺需在真空环境下进行，其炉门的密封性能直接影响生产质量。[0003]现有技术中的炉门密封装置，多数都是将炉门通过螺钉直接固定在炉门固定座上，炉门的位置主要依靠调节螺钉进行调整，当通过调节炉门固定座的螺钉对炉门进行调整，这种靠螺钉调整的方式操作起来相当麻烦，需人工手动进行调节，并且经常需要反复多次调节，生产效率低。发明内容[0004]为解决上述技术问题，本发明提出一种低压扩散炉炉门密封装置，该炉门密封装置具有自动校正功能，只要稍微调节就能轻松达到良好的密封效果。[0005]本发明采用的技术方案是，设计一种低压扩散炉炉门密封装置，包括：由前至后依次排列且同轴设置的炉门、固定轴及固定座，炉门的后端面中心固定有轴承座，轴承座内设有向心关节轴承，向心关