一种减压扩散炉炉口冷却密封装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105543976A(43)申请公布日2016.05.04(21)申请号201510917395.6(22)申请日2015.12.14(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所地址410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号(72)发明人张宝锋禹庆荣苏卫中刘良玉杨彬(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所43008代理人周长清(51)Int.Cl.C30B31/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图8页(54)发明名称一种减压扩散炉炉口冷却密封装置(57)摘要本发明公开了一种减压扩散炉炉口冷却密封装置，所述减压扩散炉反应管管口安装石英炉门，所述石英炉门内端面装设密封圈，所述石英炉门通过密封圈与反应管管口的安装法兰内端面密封抵接，所述密封圈的周边设有对密封圈进行局部强制冷却的强冷装置，所述强冷装置包括对石英炉门和安装法兰外周圆、安装法兰外端面进行局部强冷的气冷器组件，以及对石英炉门外端面进行局部强冷的金属炉门组件。本发明具有能减缓了密封圈老化速度、提高反应室内的密封可靠性等优点。CN105543976ACN105543976A权利要求书1/1页1.一种减压扩散炉炉口冷却密封装置，所述减压扩散炉反应管（1）管口安装石英炉门（2），所述石英炉门（2）内端面装设密封圈（20），所述石英炉门（2）通过密封圈（20）与反应管（1）管口的安装法兰（10）内端面密封抵接，其特征在于：所述密封圈（20）的周边设有对密封圈（20）进行局部强制冷却的强冷装置（3），所述强冷装置（3）包括对石英炉门（2）和安装法兰（10）外周圆、安装法兰（10）外端面进行局部强冷的气冷器组件（4），以及对石英炉门（2）外端面进行局部强冷的金属炉门组件（5）。2.根据权利要求1所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置，其特征在于：所述气冷器组件（4）套设于石英炉门（2）与安装法兰（10）的交接处，所述气冷器组件（4）包括喷淋口朝向石英炉门（2）和安装法兰（10）外周圆的外气室（41），以及喷淋口朝向安装法兰（10）外端面的内气室（42）。3.根据权利要求2所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置，其特征在于：所述外气室（41）沿轴向设于内气室（42）的上方，所述外气室（41）、内气室（42）均包括一环形冷却通道（7），若干所述喷淋口均匀布置于环形冷却通道（7）的内壁，所述冷却通道（7）的空腔内设有一隔片（70），所述隔片（70）的两侧分别装设进气口。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置，其特征在于：所述金属炉门组件（5）包括固装于石英炉门（2）前方的金属炉门（8），所述金属炉门（8）内设有环形冷却腔（9），所述环形冷却腔（9）内均布若干朝向石英炉门（2）外端面的喷淋口。5.根据权利要求4所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置，其特征在于：所述金属炉门（8）朝向石英炉门（2）的一端设置一斜面（80），所述环形冷却腔（9）的若干喷淋口均布于斜面（80）上。6.根据权利要求5所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置，其特征在于：所述环形冷却腔（9）内设有隔板（90），所述隔板（90）的两侧分别装设进气口，所述强冷装置（3）外侧远离环形冷却通道（7）进气口、环形冷却腔（9）进气口安装排气收集设备（11）。7.根据权利要求4所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置，其特征在于：所述金属炉门组件（5）还包括填充于金属炉门（8）与石英炉门（2）之间的保温垫（12），所述石英炉门（2）上凸设石英柱，所述金属炉门（8）穿过石英柱并抵靠于保温垫（12）上，且通过固定环锁紧。8.根据权利要求7所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置，其特征在于：所述内气室（42）与反应管（1）的外周圆之间套设保温环（13），所述保温环（13）、保温垫（12）均为石棉纤维、碳纤维或氧化铝组分中的一种或多种保温耐热材料制备而成。9.根据权利要求7或8所述的减压扩散炉炉口冷却密封装置，其特征在于：所述石英炉门（2）沿轴向间隔设置多层隔热板（14），相邻隔热板（14）之间通过支撑杆（15）连接。2CN105543976A说明书1/4页一种减压扩散炉炉口冷却密封装置技术领域[0001]本发明涉及光伏和半导体电子元器件技术领域，尤其涉及一种减压扩散炉炉口冷却密封装置。背景技术[0002]扩散炉广泛应用于电力电子器件、半导体器件和晶体硅太阳能电池制造，通过在硅片表面掺杂磷或硼制备PN结。PN结制备是器件和太阳能制造的核心工艺，其优劣直接决定着产品质量的好坏。[0003]随着器件制造业的发展，尤其是晶体硅太阳能电池高转换效率方向发展，传统的常压扩散工艺已经很难满足浅结高方阻的工艺需求，掺杂均匀性无法满足先进电池工艺路线的技术需求。减压扩散通过