取向膜的固化系统及固化方法.pdf
雅云****彩妍
亲,该文档总共12页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
取向膜的固化系统及固化方法.pdf
本发明公开了一种取向膜的固化系统及固化方法,该固化系统包括固化反应炉,用于通过对自身炉腔内的温度进行控制,实现对自身炉腔内导入的用于生成取向膜的中间体进行环化脱水,形成取向膜;所述固化反应炉上设置有进风管和排风管;鼓风装置,与所述进风管连接,用于通过所述进风管向固化反应炉的炉腔内鼓入气体,并将混合有对所述中间体进行环化脱水时产生的水蒸气的气体通过所述排风管鼓出;干燥装置,一端与所述排风管连接,另一端通过通风管道与所述鼓风装置连接,用于对所述排风管中鼓出的气体进行干燥,并将干燥后的气体通过所述通风管道送回所
配向膜固化系统.pdf
本发明提供一种配向膜固化系统,用于基板上配向膜的固化,包括设有设数个顶针的承载台、夹持部、预备区和预烤区;所述预备区内设有所述承载台和第一支撑台,所述预烤区内设置一预烤炉,所述预烤炉内设有第二支撑台,所述第一支撑台与第二支撑台均为气浮式支撑,所述夹持部用于将由数个顶针支撑的基板夹持并移动到所述第一支撑台上方通过气浮支撑,以及用于将所述第一支撑台上的基板移动至预烤炉内的第二支撑台上通过气浮支撑。
固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体器件及树脂.pdf
本发明提供一种固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件以及提供一种包含特定结构的新型树脂,其中,该固化性树脂组合物包括包含下述式(1?1)所表示的重复单元且包含选自下述式(2?1)所表示的重复单元、下述式(2?2)所表示的重复单元、下述式(2?3)所表示的重复单元及下述式(2?4)所表示的重复单元中的至少一种重复单元的树脂及溶剂。<base:Imagehe=@1000@wi=@927@file=@DDA0
固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体器件及树脂.pdf
本发明提供一种固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件、以及提供一种具有特定结构的新的树脂,其中,上述固化性树脂组合物包含具有选自下述式(1?1)所表示的重复单元及下述式(1?2)所表示的重复单元中的至少一种重复单元的树脂以及聚合引发剂。<base:Imagehe=@340@wi=@1000@file=@DDA0003659529150000011.JPG@imgContent=@drawing@imgF
硅化合物、反应性材料、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、图案固化膜及图案固化膜的制造方法.pdf
本发明为一种由下述通式(x)表示的硅化合物。另外,本发明为一种包含由下述通式(x)表示的硅化合物的反应性材料。通式(x)中,R<base:Sup>1</base:Sup>为多个的情况下,分别独立地为碳数1~10的直链状、碳数3~10的支链状或者碳数3~10的环状的烷基、碳数2~10的直链状、碳数3~10的支链状或者碳数3~10的环状的烯基,烷基或烯基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代,R<base:Sup>2</base:Sup>为多个的情况下,分别独立地为碳数1~4的直链状或碳数3~4的支链状的烷