配向膜固化系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107193142A(43)申请公布日2017.09.22(21)申请号201710592043.7(22)申请日2017.07.19(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430070湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人李任鹏米田公太郎(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202代理人郝传鑫熊永强(51)Int.Cl.G02F1/13(2006.01)G02F1/1337(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称配向膜固化系统(57)摘要本发明提供一种配向膜固化系统，用于基板上配向膜的固化，包括设有设数个顶针的承载台、夹持部、预备区和预烤区；所述预备区内设有所述承载台和第一支撑台，所述预烤区内设置一预烤炉，所述预烤炉内设有第二支撑台，所述第一支撑台与第二支撑台均为气浮式支撑，所述夹持部用于将由数个顶针支撑的基板夹持并移动到所述第一支撑台上方通过气浮支撑，以及用于将所述第一支撑台上的基板移动至预烤炉内的第二支撑台上通过气浮支撑。CN107193142ACN107193142A权利要求书1/1页1.一种配向膜固化系统，用于基板上配向膜的固化，其特征在于，包括设有设数个顶针的承载台、夹持部、预备区和预烤区；所述预备区内设有所述承载台和第一支撑台，所述预烤区内设置一预烤炉，所述预烤炉内设有第二支撑台，所述第一支撑台与第二支撑台均为气浮式支撑，所述夹持部用于将由数个顶针支撑的基板夹持并移动到所述第一支撑台上方通过气浮支撑，以及用于将所述第一支撑台上的基板移动至预烤炉内的第二支撑台上通过气浮支撑。2.如权利要求1所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述第二支撑台上支撑基板的气体为热气且均匀对所述基板加热。3.如权利要求2所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述第一支撑台与第二支撑台的表面均设有数个均匀排列的气孔。4.如权利要求3所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述夹持部位于所述基板上方，包括移动支架，固定于移动支架的延伸臂和设于延伸臂的卡爪，所述移动支架带动延伸臂移动实现卡爪对基板的移动。5.如权利要求4所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述延伸臂设有气缸，用于固定卡爪并可带动卡爪升降。6.如权利要求3所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述配向膜固化系统还包括机械手，通过机械手将基板放置于所述承载台上。7.如权利要求4所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述承载台与所述第一支撑台通过移动机构实现更换位置。8.如权利要求1所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述数个顶针可伸缩的相对承载台的表面移动。9.如权利要求4所述的配向膜固化系统，其特征在于，所述配向膜固化系统设有支撑所述夹持部的支撑架，所述支撑架上还设置有定位卡爪的定位装置。2CN107193142A说明书1/3页配向膜固化系统技术领域[0001]本发明涉及配向膜制作技术领域，特别涉及一种配向膜固化系统。背景技术[0002]不论是主动矩阵式液晶显示器或者是被动矩阵式液晶显示器，两片夹持液晶层的基板上都必须具有配向膜(alignmentlayer)。配向膜的主要功能在于对液晶分子进行配向，以使液晶分子在两片基板之间呈现扭转的现象。一般而言，配向膜可用印刷方式或其它方式形成，此间，在配向膜固预固化的过程中，设备会采用全部的顶针支撑方式，因顶针材质的导热系数与空气不同，因此在固化过程中，会造成配向膜与顶针接触区域的位置预固化效果与非接触区域存在差异，导致配像不均而形成液晶显示器显示亮度不均的现象，影响产品品质。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种防护性能好的配向膜固化系统。[0004]本发明实施例提供的配向膜固化系统，用于基板上配向膜的固化，包括设有设数个顶针的承载台、夹持部、预备区和预烤区；所述预备区设有内承载台、第一支撑台，所述预烤区内设置一预烤炉，所述预烤炉内设有第二支撑台，所述第一支撑台与第二支撑台均为气浮式支撑，所述夹持部用于将由数个顶针支撑的基板夹持并移动到所述第一支撑台上方通过气浮支撑，以及用于将所述第一支撑台上的基板移动至预烤炉内的第二支撑台上通过气浮支撑。[0005]其中，所述第二支撑台上支撑基板的气体为热气且均匀对所述基板加热。[0006]其中，所述第一支撑台与第二支撑台的表面均设有数个均匀排列的气孔。[0007]其中，所述夹持部位于所述基板上方，包括移动支架，固定于移动支架的延伸臂和设于延伸臂的卡爪，所述移动支架带动卡爪移动实现对基板的夹持和移动。[0008]其中，所述延伸臂设有气缸，用于固定卡爪并可带动卡爪升降。[0009]其中，所述配向膜固化系统还包括机械手，通过机械手将基板放置于所述承载台上。[0010]其中，