基板保持装置及使用该基板保持装置的缺陷修正装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102201355A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102201355A(43)申请公布日2011.09.28(21)申请号201110050773.7H01L21/66(2006.01)(22)申请日2011.02.24(30)优先权数据2010-0402582010.02.25JP(71)申请人NTN株式会社地址日本大阪府(72)发明人藤田康之大庭博明井上达司山中昭浩(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人胡晓萍(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)H01L21/677(2006.01)G01N21/956(2006.01)B65G49/06(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图16页(54)发明名称基板保持装置及使用该基板保持装置的缺陷修正装置(57)摘要一种缺陷修正装置(1)，配置有供玻璃基板(99)装载的一对基板端支承台3。在一对基板端支承台(3)之间的区域内配置有多个基板支承用滚轮机构(4)，这些基板支承用滚轮机构(4)从下方对玻璃基板(99)予以支承。基板支承用滚轮机构(4)安装有将所装载的玻璃基板(99)的下表面吸附并保持的基板吸附台(26)。藉此，能得到用更简易的结构来对基板进行保持的基板保持装置和应用该基板保持装置的缺陷修正装置。CN10235ACCNN110220135502201361A权利要求书1/2页1.一种基板保持装置，适用于对形成于规定基板的图案的缺陷进行修正，其特征在于，所述基板保持装置包括：一对基板端支承台，这一对基板端支承台彼此隔开间隔地朝第一方向延伸，并从下方对规定基板的彼此相对的端部予以支承；基板支承用滚轮机构，该基板支承用滚轮机构配置于所述一对基板端支承台之间的区域内，从下方对装载于所述一对基板端支承台的所述基板予以支承，并能分别朝所述第一方向和与所述第一方向相反的方向自由移动；以及基板吸附台，该基板吸附台安装于所述基板支承用滚轮机构，从而能与所述基板支承用滚轮机构一起自由移动，并对装载于所述一对基板端支承台的所述基板的下表面进行吸附，所述基板支承用滚轮机构包括：滚轮主体，该滚轮主体具有多个滚轮构件、能将多个所述滚轮构件分别支承成能转动的多个滚轮支承轴、将多个所述滚轮支承轴环状连结的滚轮支承轴连结板；以及滚轮主体导向部，该滚轮主体导向部将所述滚轮主体配置在通过所述滚轮构件能从下方对装载于所述一对基板端支承台的基板予以支承的规定高度的第一位置，还将所述滚轮主体配置在比所述第一位置更低的第二位置，并使所述滚轮主体在所述第一位置与所述第二位置之间环状转动地进行引导。2.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，所述滚轮主体引导部包括：一对传送板，这一对传送板被配置成从所述滚轮构件的滚轮支承轴方向的一侧和另一侧夹住所述滚轮构件，并被设定在所述滚轮构件能从下方对所述基板予以支承的规定高度；一对滚轮支承轴传送用轴承，这一对滚轮支承轴传送用轴承安装于所述滚轮支承轴，并在一对所述传送板各自的上端将所述滚轮支承轴支承成能自由移动；以及一对传送辅助板，这一对传送辅助板被配置成从所述滚轮支承轴方向的一侧和另一侧夹住一对所述传送板和一对所述滚轮支承轴传送用轴承。3.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，所述基板吸附台包括：线状的照明光源，该照明光源被配置成从一对所述基板支承台的一个基板支承台朝另一个基板支承台延伸；以及线状的聚光透镜，该聚光透镜将从所述照明光源照射出的光聚光。4.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，所述基板吸附台包括空气喷射部，该空气喷射部用于在所述基板吸附台可动时，在基板吸附台与所装载的所述基板之间形成间隙来阻止基板吸附台与所述基板的接触。5.权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，包括基板端辅助支承部，该基板端辅助支承部从下方分别对装载于一对所述基板端支承台中没有被一对所述基板端支承台支承的、沿与所述第一方向交叉的第二方向彼此相对的第一端部和第二端部予以支承。6.如权利要求5所述的基板保持装置，其特征在于，2CCNN110220135502201361A权利要求书2/2页当所述基板吸附台位于所述基板的所述第一端部、所述第二端部的正下方位置之外的位置时，所述基板端辅助支承部处于从下方对所述第一端部、所述第二端部予以支承的支承状态，当所述基板吸附台位于所述基板的所述第一端部、所述第二端部的正下方时，所述基板端辅助支承部处于避让状态。7.如权利要求6所述的基板保持装置，其特征在于，通过使所述基板端辅助支承部朝水平方向移动来靠近所述基板，从而从所述避让状态变为所述支承状态，通过使所述基板端辅助支承部朝水平方向移动来远离所述基板，从而从所述支承状态变为所述避让状态。8.如权利