基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法.pdf
斌斌****公主
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基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法.pdf
本发明提供基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法。基板保持件以架状保持多张基板,为了对这些基板进行热处理而被搬入到立式热处理炉内,该基板保持件包括能够相互分割地合体的第一保持件部分和第二保持件部分,第一保持件部分和第二保持件部分分别具备:相互上下对置的顶板和底板;支柱,其沿着顶板和底板各自的周缘部而设置有多个,将该顶板与底板相互连结;保持部,其设置在多个支柱各自之中相互对应的位置,用于保持各基板的下表面,第一保持件部分和第二保持件部分各自的保持部以如下方式设定高度位置,即:在第一保持件部分和
立式热处理装置及其冷却方法.pdf
本发明提供立式热处理装置及其冷却方法。其一边将炉主体和处理容器之间的空间内高精度地保持为微负压一边对该空间内进行强制冷却。立式热处理装置包括具有加热元件的炉主体和用于收容被处理体而对其实施热处理的、配置在炉主体内的处理容器。在炉主体上连接有空气供给管路和空气排气管路,在空气供给管路上配置有空气供给鼓风机和空气供给管路侧阀机构,在空气排气管路上配置有空气排气鼓风机和空气排气管路侧阀机构。利用压力检测系统检测空间内的压力,由控制部基于来自压力检测系统的检测信号控制空气供给鼓风机、空气供给管路侧阀机构、空气排气
立式带钢喷气热处理装置及方法.pdf
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立式热处理设备炉体成型装置.pdf
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绝热构造体和立式热处理装置.pdf
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