预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共43页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102738045A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102738045A(43)申请公布日2012.10.17(21)申请号201210093659.7(51)Int.Cl.(22)申请日2012.03.31H01L21/673(2006.01)H01L21/324(2006.01)(30)优先权数据2011-0866182011.04.08JP2011-1862642011.08.29JP2012-0264642012.02.09JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人松浦广行户羽胜也(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人李伟舒艳君权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书1313页页附图附图2727页(54)发明名称基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法(57)摘要本发明提供基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法。基板保持件以架状保持多张基板,为了对这些基板进行热处理而被搬入到立式热处理炉内,该基板保持件包括能够相互分割地合体的第一保持件部分和第二保持件部分,第一保持件部分和第二保持件部分分别具备:相互上下对置的顶板和底板;支柱,其沿着顶板和底板各自的周缘部而设置有多个,将该顶板与底板相互连结;保持部,其设置在多个支柱各自之中相互对应的位置,用于保持各基板的下表面,第一保持件部分和第二保持件部分各自的保持部以如下方式设定高度位置,即:在第一保持件部分和第二保持件部分相互合体时,使得保持于第一保持件部分的基板和保持于第二保持件部分的基板交替地排列。CN10273845ACN102738045A权利要求书1/2页1.一种基板保持件,该基板保持件以架状保持多张基板,为了对这些基板进行热处理而被搬入到立式热处理炉内,该基板保持件的特征在于,包括能够相互分割地合体的第一保持件部分和第二保持件部分,所述第一保持件部分和所述第二保持件部分各自具备:相互上下对置的顶板和底板;支柱,该支柱沿着所述顶板和所述底板各自的周缘部而设置有多个,将该顶板与底板相互连结;以及保持部,该保持部设置在所述多个支柱的各自之中相互对应的位置,用于保持各基板的下表面,所述第一保持件部分和所述第二保持件部分各自的保持部以如下方式设定高度位置,即:在该第一保持件部分和第二保持件部分相互合体后,使得保持于第一保持件部分的基板和保持于第二保持件部分的基板交替地排列。2.根据权利要求1所述的基板保持件,其特征在于,所述第一保持件部分和所述第二保持件部分各自的保持部构成为从支柱伸出的保持用的爪部。3.根据权利要求1所述的基板保持件,其特征在于,所述基板保持件具备结合部件,该结合部件用于使相互合体后的所述第一保持件部分和所述第二保持件部分相互结合,且被设置成相对于所述第一保持件部分和所述第二保持件部分拆装自如。4.根据权利要求2所述的基板保持件,其特征在于,所述基板为圆形基板,所述保持部的至少一个,其载置基板的保持面形成为沿着基板的周缘的圆弧状。5.根据权利要求1所述的基板保持件,其特征在于,从向第一保持件部分和第二保持件部分交接基板的一侧观察,分别设置在基板的两侧的多个保持部被设置成,使得基板的保持面朝向基板的中心侧且向下方侧倾斜,利用该保持面保持基板的下缘。6.一种立式热处理装置,该立式热处理装置将多张基板以架状保持于基板保持件并搬入到立式热处理炉内,对基板进行热处理,该立式热处理装置的特征在于,使用权利要求1所述的基板保持件作为所述基板保持件,所述立式热处理装置具备:第一载置部,该第一载置部为了在相对于所述第一保持件部分进行基板的交接的位置载置第一保持件部分而设置;第二载置部,该第二载置部为了在相对于所述第二保持件部分进行基板的交接的位置载置第二保持件部分而设置;合体机构,该合体机构用于使载置于所述第一载置部的第一保持件部分和载置于所述第二载置部的第二保持件部分相互合体;以及保持件升降机构,该保持件升降机构用于将基板保持件相对于立式热处理炉内进行搬入、搬出,其中基板保持件是借助所述合体机构使第一保持件部分与第二保持件部分合体而构成的。2CN102738045A权利要求书2/2页7.根据权利要求6所述的立式热处理装置,其特征在于,所述合体机构是使第一载置部和第二载置部的至少一方从进行基板的交接的位置移动的移动机构。8.根据权利要求6所述的立式热处理装置,其特征在于,所述立式热处理装置具备保持件转移机构,该保持件转移机构用于将所述第一保持件部分与第二保持件部分合体后的基板保持件转移至所述保持件升降机构。9.根据权利要求6所述的立式热处理装置,其特征在于,在所述第一保持件部分和所述第二保持件部分的一方以被处理面朝下的方式保持基板,在所述第一保持件