立式热处理装置及其冷却方法.pdf
春波****公主
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立式热处理装置及其冷却方法.pdf
本发明提供立式热处理装置及其冷却方法。其一边将炉主体和处理容器之间的空间内高精度地保持为微负压一边对该空间内进行强制冷却。立式热处理装置包括具有加热元件的炉主体和用于收容被处理体而对其实施热处理的、配置在炉主体内的处理容器。在炉主体上连接有空气供给管路和空气排气管路,在空气供给管路上配置有空气供给鼓风机和空气供给管路侧阀机构,在空气排气管路上配置有空气排气鼓风机和空气排气管路侧阀机构。利用压力检测系统检测空间内的压力,由控制部基于来自压力检测系统的检测信号控制空气供给鼓风机、空气供给管路侧阀机构、空气排气
循环冷却装置、热处理窑炉及其冷却方法.pdf
本发明公开了一种循环冷却装置、热处理窑炉及其冷却方法,循环冷却装置包括冷却换热组件,冷却换热组件的进口端连接有用于将待冷却气体通入冷却换热组件的进气管路,冷却换热组件的出口端连接有用于将冷却换热组件冷却后气体排出的出气管路,还包括连通进气管路和出气管路的回流管路,回流管路上设有用于控制回流管路通断的回流控制阀门。热处理窑炉包括具有炉膛的炉体和该循环冷却装置。冷却方法是在循环冷却装置工作过程中,依据进气温度、出气温度和炉膛温度自动控制回流控制阀门通断,以改善进出的气体温度。本发明能在冷却换热组件换热能力不变
一种热处理炉内辊冷却装置及其冷却方法.pdf
本发明公开了一种热处理炉内辊冷却装置,包括第三固定板,所述第三固定板的顶部一侧焊接有第六固定板,所述第六固定板的一侧安装有气缸,所述第六固定板的一侧焊接有两个第一固定板,所述气缸的活塞杆焊接有第三壳体,所述第一固定板的一侧安装有第一滑轨;本发明在使用过程中,通过设置气缸推动第三壳体运动,将第一壳体和第二壳体送入热处理炉内,第一滑块触动第一触碰开关,通过电动机配合第二螺杆、螺纹套和第二滑块使第一壳体和第二壳体配合弧形槽与炉内辊卡合,并由卡块触动第二触碰开关,启动涡流制冷器对炉内辊进行冷却,使本发明在进行炉内
立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置.pdf
本发明公开一种立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置,所公开的立式热处理设备包括壳体和炉体,所述壳体具有内腔和第一承载板,所述第一承载板设置于所述内腔,并将所述内腔沿高度方向从上到下依次分隔为炉体腔室和装卸腔室,所述第一承载板设置有避让口,所述避让口连通所述炉体腔室和所述装卸腔室;所述炉体具有炉口,所述炉体设置于所述内腔中的工作位置,并与所述第一承载板可拆卸连接,在所述工作位置时,所述炉体通过所述避让口部分伸入所述炉体腔室,且所述炉口位于所述装卸腔室。上述方案能够解决目前的立式热处理设备难以提升单炉晶片
基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法.pdf
本发明提供基板保持件、立式热处理装置及立式热处理装置的运转方法。基板保持件以架状保持多张基板,为了对这些基板进行热处理而被搬入到立式热处理炉内,该基板保持件包括能够相互分割地合体的第一保持件部分和第二保持件部分,第一保持件部分和第二保持件部分分别具备:相互上下对置的顶板和底板;支柱,其沿着顶板和底板各自的周缘部而设置有多个,将该顶板与底板相互连结;保持部,其设置在多个支柱各自之中相互对应的位置,用于保持各基板的下表面,第一保持件部分和第二保持件部分各自的保持部以如下方式设定高度位置,即:在第一保持件部分和