绝热构造体和立式热处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110277334A(43)申请公布日2019.09.24(21)申请号201910184953.0(22)申请日2019.03.12(30)优先权数据2018-0458732018.03.13JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人吉井弘治山口达也林宽之冈田充弘高木聪高桥敏彦庄司正文北村和也(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇张会华(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图9页(54)发明名称绝热构造体和立式热处理装置(57)摘要本发明提供一种能够抑制从晶圆处理区域向炉口部分的热移动、热传递的绝热构造体和立式热处理装置。一实施方式的绝热构造体用于立式热处理装置，该立式热处理装置具备：双层管构造的处理容器，其具有内管和上部封闭着的外管，并在下端具有开口；气体供给部和排气部，其设置于所述处理容器的下侧；盖部，其从所述开口导入和排出基板，并且能够使所述开口开闭；以及加热部，其以从外侧覆盖所述处理容器的方式设置，该立式热处理装置利用所述加热部对基所述板进行热处理，在所述绝热构造体中，该绝热构造体设置于所述内管与所述外管之间。CN110277334ACN110277334A权利要求书1/2页1.一种绝热构造体，其用于立式热处理装置，该立式热处理装置具备：双层管构造的处理容器，其具有内管和上部封闭着的外管，并在下端具有开口；气体供给部和排气部，其设置于所述处理容器的下侧；盖部，其从所述开口导入和排出基板，并且能够使所述开口开闭；以及加热部，其以从外侧覆盖所述处理容器的方式设置，该立式热处理装置利用所述加热部对所述基板进行热处理，在所述绝热构造体中，该绝热构造体设置于所述内管与所述外管之间。2.根据权利要求1所述的绝热构造体，其中，所述绝热构造体具有沿着所述内管的外周设置的板状构件。3.根据权利要求2所述的绝热构造体，其中，所述板状构件在俯视时形成为在与所述排气部相对应的位置形成有缺口的C字形状。4.根据权利要求2所述的绝热构造体，其中，所述板状构件在俯视时形成为圆环形状。5.根据权利要求2～4中任一项所述的绝热构造体，其中，所述板状构件具有设置在上下方向上的不同的位置的第1上侧构件和第2上侧构件。6.一种绝热构造体，其用于立式热处理装置，该立式热处理装置具备：双层管构造的处理容器，其具有内管和上部封闭着的外管，并在下端具有开口；气体供给部和排气部，其设置于所述处理容器的下侧；盖部，其从所述开口导入和排出基板，并且能够使所述开口开闭；以及加热部，其以从外侧覆盖所述处理容器的方式设置，该立式热处理装置利用所述加热部对所述基板进行热处理，在所述绝热构造体中，在所述内管与所述外管之间具有沿着所述内管的外周设置的板状构件，所述板状构件具有：第1弧状构件，其在上下方向上的第1高度位置沿着所述内管的外周设置有多个；以及第2弧状构件，其在有别于所述第1高度位置的第2高度位置沿着所述内管的外周设置有多个，所述第1弧状构件和所述第2弧状构件沿着所述内管的外周交替地配置，彼此相邻的所述第1弧状构件和所述第2弧状构件以在俯视时局部重叠的方式配置。7.根据权利要求2～6中任一项所述的绝热构造体，其中，所述绝热构造体具有支承所述板状构件的支承构件。8.根据权利要求7所述的绝热构造体，其中，在所述外管的下部的内壁形成有圆环形状的支承部，所述支承构件具有：下侧构件，其配置于所述支承部之上；以及连接构件，其将所述下侧构件和所述板状构件连接。9.一种绝热构造体，其用于立式热处理装置，该立式热处理装置具备：双层管构造的处理容器，其具有内管和上部封闭着的外管，并在下端具有开口；2CN110277334A权利要求书2/2页气体供给部和排气部，其设置于所述处理容器的下侧；盖部，其从所述开口导入和排出基板，并且能够使所述开口开闭；以及加热部，其以从外侧覆盖所述处理容器的方式设置，该立式热处理装置利用所述加热部对所述基板进行热处理，在所述绝热构造体中，该绝热构造体具有块状构件，该块状构件沿着所述内管的外周设置到所述内管与所述外管之间。10.根据权利要求9所述的绝热构造体，其中，所述块状构件在俯视时形成为在与所述排气部相对应的位置形成有缺口的C字形状。11.根据权利要求9所述的绝热构造体，其中，所述块状构件在俯视时形成为圆环形状。12.根据权利要求1～11中任一项所述的绝热构造体，其中，所述绝热构造体以最上部的高度位置比所述排气部的上端的位置高的方式配置。13.根据权利要求1～12中任一项所述的绝热构造体，其中，所述绝热构造体以最上部的高度位置比以保持着所述基板的状态收容于所述处理容器内的基板保