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立式热处理设备炉体成型装置.pdf
2023-06-20
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雨巷****轶丽
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立式热处理设备炉体成型装置.pdf
本发明公开了一种立式热处理设备炉体成型装置，包括中轴、轴向分开设置在所述中轴上的两组支撑辐板组以及两端分别与所述两组支撑辐板组连接的若干炉丝支撑板，所述每组支撑辐板组包括沿所述中轴径向分别向四周延伸的若干支撑辐板，所述每个炉丝支撑板的两端分别连接在两组支撑辐板组中相对的两根支撑辐板径向远离所述中轴的一端上。本发明结构简单、装配质量高、装配后拆装置方便。
2023-06-20
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立式热处理设备炉体精密成型装置.pdf
本发明公开了一种立式热处理设备炉体精密成型装置，包括中轴、两端分别通过一组支撑辐板安装在所述中轴上的加热丝支撑板、以及安装在所述中轴上并分别位于两组支撑辐板轴向外侧的两个端部限位装置，所述中轴上与所述端部限位装置位置对应地设有两个具有外花键结构的内轴套，所述端部限位装置包括具有与所述外花键结构配合的内花键结构的外轴套，所述支撑辐板径向内端设有配合套设于所述内轴套的外花键结构上的辐板安装孔。本发明采用内外花键的键槽配合进行端部限位装置和支撑辐板与中轴之间的周向定位，定位准确、迅速，提高了装配效率和装配质量；
2023-06-20
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立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置.pdf
本发明公开一种立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置，所公开的立式热处理设备包括壳体和炉体，所述壳体具有内腔和第一承载板，所述第一承载板设置于所述内腔，并将所述内腔沿高度方向从上到下依次分隔为炉体腔室和装卸腔室，所述第一承载板设置有避让口，所述避让口连通所述炉体腔室和所述装卸腔室；所述炉体具有炉口，所述炉体设置于所述内腔中的工作位置，并与所述第一承载板可拆卸连接，在所述工作位置时，所述炉体通过所述避让口部分伸入所述炉体腔室，且所述炉口位于所述装卸腔室。上述方案能够解决目前的立式热处理设备难以提升单炉晶片
2023-06-16
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热处理设备立式炉体立式装配工装.pdf
本发明公开了一种热处理设备立式炉体立式装配工装，涉及设备工装技术领域。所述工装包括：轮体、结构架、圆台和上载圈；所述轮体设置在所述结构架的下部，用于支撑和移动所述工装；所述圆台设置在所述结构架的上部；所述上载圈设置在所述圆台的上部，用于固定和支撑热处理设备立式炉体。所述工装为炉体立式装配提供了工具基础，减小了炉体装配的误差，提高了装配效率。另外，通过设置所述轮体，可以方便的移动或固定所述工装；通过将圆台和结构架分离设计，提高了工装的通用性；并且，所述工装各部分均采用常用型材，成本低廉，易于实现。
2023-06-20
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立式炉体装配辅助装置.pdf
本发明公开了一种立式炉体装配辅助装置，涉及半导体工艺设备中炉体的立式装配技术领域，包括：支撑固定块(1)、间隙调节块(2)，其中，所述支撑固定块(1)的上表面上设有滑槽(3)；所述间隙调节块(2)，设于所述滑槽(3)内，用于调节所述支撑固定块(1)的上表面与炉体底部的间隙。本发明能够在对立式炉体进行装配时，对炉体进行支撑、对炉体外壁进行定位，可使炉体在装配过程中的稳固程度得到加强，同时为炉体外壁的装配带来了便利，大大降低了炉体外壁的装配难度。
2023-06-20
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