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一种在石墨表面制备碳化硅涂层的方法.pdf
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一种在石墨表面制备碳化硅涂层的方法.pdf
本发明公开了一种在石墨表面制备碳化硅涂层的方法，该方法为：一、将装有固体硅料的石墨坩埚置于高温石墨化炉内，将石墨基体置于石墨坩埚内的石墨支架上，利用硅蒸气和石墨基体表面的碳直接反应生成一层碳化硅涂层；二、将表面生成碳化硅涂层的石墨基体置于化学气相沉积炉内，在石墨基体表面的碳化硅涂层表面裂解生成一层CVD（化学气相沉积）碳化硅涂层。本发明通过加热固体硅料形成的硅蒸气与石墨基体表层碳直接反应，原位形成的CVR（化学气相反应）碳化硅涂层牢固地结合在石墨基体上，提高了结合强度；然后利用CVD工艺在CVR碳化硅涂层
2023-06-20
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2023-06-20
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2023-05-16
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2023-06-18
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