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一种表面SiC涂层石墨托盘的制备方法及应用.pdf
2023-05-25
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骊蓉****23
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一种表面SiC涂层石墨托盘的制备方法及应用.pdf
本发明提供一种表面SiC涂层石墨托盘的制备方法及其应用,包括以下步骤:(1)取石墨托盘作为基体;(2)利用含有NH<base:Sub>3</base:Sub>的气体对石墨托盘进行刻蚀处理;(3)对刻蚀后的石墨托盘表面进行吹扫,去除刻蚀后的残留粉尘;(4)采用化学气相沉积法在处理后的石墨托盘表面沉积SiC涂层。高温条件下NH<base:Sub>3</base:Sub>气对石墨具有一定的腐蚀性,本申请利用NH<base:Sub>3</base:Sub>对石墨托盘表面刻蚀,得到粗糙多孔的刻蚀表面,有利于SiC涂
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