化学气相沉积法涂层系统及工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102953045A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102953045A(43)申请公布日2013.03.06(21)申请号201110246169.1(22)申请日2011.08.25(71)申请人沈阳金研机床工具有限公司地址110045辽宁省沈阳市皇姑区陵东乡观音路(72)发明人朴万成黄宇哲李成哲金哲男金上万李权星王宏刚(74)专利代理机构沈阳杰克知识产权代理有限公司21207代理人金春华(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)C23C16/455(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图11页(54)发明名称化学气相沉积法涂层系统及工艺(57)摘要本发明涉及化学气相沉积法涂层系统及工艺。采用的技术方案是：涂层工艺如下：将基体置于托盘内，然后将托盘码于支撑筒内的沉积区；控制系统控制不同的反应气体分别经气体入口引入气体混合室；混合后的反应气体经进气管进入反应炉内，经预热区预热，挡板和隔板的分散，进入沉积区；控制系统控制加热炉升温，控制沉积区反应温度为900～2000℃，于常压下对基体涂层；产生的尾气经排气帽、尾气入口Ⅰ，预热板和尾气出口Ⅰ进入点火装置，中和液经喷淋装置喷淋，吸收中和尾气，净化后的尾气经尾气出口Ⅱ排出，吸收液经吸收液出口收集，集中处理。采用本发明，基体涂层具有较高的均匀度和附着力，提高了产品的耐磨损性和耐缺损性，保护了环境。CN1029534ACN102953045A权利要求书1/1页1.化学气相沉积法涂层系统，其特征在于：由控制系统（1）、气体混合室（2）、加热炉（4）、反应炉（5）和尾气吸收塔（16）组成；气体混合室（2）上设有若干气体入口（3）；反应炉（5）置于加热炉（4）内；反应炉（5）内设有支撑筒（7），支撑筒（7）的上端连接排气帽（6），支撑筒（7）内从上向下依次分为沉积区、气体分配区和预热区；沉积区内：设有若干托盘（8），托盘（8）上设有若干通气孔Ⅰ；气体分配区内：设有挡板（10），挡板（10）上端安装至少三层隔板（9），隔板（9）上设有若干通气孔Ⅱ；预热区内：安装若干层预热板（13），进气管（11）的出气端与气体分配区相通，支撑筒（7）在预热区部位的下端设有尾气入口Ⅰ（12），预热区的下端设有尾气出口Ⅰ（14）；气体混合室（2）的出气口经管路与进气管（11）的进气端连接；尾气吸收塔（16）上端设有尾气出口Ⅱ（15），尾气出口Ⅱ（15）通过管路与引风机（22）连接，尾气吸收塔（16）下端分别设有尾气入口Ⅱ（19）和吸收液出口（21），点火装置（20）安装在尾气入口Ⅱ（19）的下端，在尾气吸收塔（16）内尾气入口Ⅱ（19）的上端安装伞形挡板（18），尾气吸收塔（16）内上下两端安装喷淋装置（17）；尾气出口Ⅰ（14）经管路与点火装置（20）连接。2.按照权利要求1所述的化学气相沉积法涂层系统，其特征在于：加热炉（4）分成若干段加热区，每段加热区由接线柱（41）、加热装置（43）和热电偶（42）组成；加热炉（4）内从内到外依次设有绝缘隔离层（44）、保温层Ⅰ（45）和保温层Ⅱ（46）。3.一种化学气相沉积法涂层工艺，其特征在于采用权利要求1或2所述的化学气相沉积法涂层系统进行涂层，步骤如下：将需要涂层的基体置于托盘（8）内，然后将托盘依次码于支撑筒（7）内的沉积区；控制系统（1）控制不同的反应气体分别通过气体入口（3）引入气体混合室（2）内；混合后的反应气体经管路和进气管（11）进入反应炉（5）内，经预热区预热，挡板和隔板的分散，进入沉积区；控制系统（1）控制加热炉（4）升温，控制沉积区的反应温度在700～2000℃之间，于常压下对基体涂层；产生的尾气经排气帽（6）、尾气入口Ⅰ（12），预热板（13）和尾气出口Ⅰ（14）进入点火装置（20），点燃后的尾气进入尾气吸收塔（16）内，中和液经喷淋装置（17）喷淋，吸收中和尾气，净化后的尾气经尾气出口Ⅱ（15）排出，吸收液经吸收液出口（21）收集，集中处理。4.按照权利要求3所述的化学气相沉积法涂层工艺，其特征在于：所述的反应气体是含有构成薄膜元素的气态反应剂或者液态反应剂的蒸气。2CN102953045A说明书1/3页化学气相沉积法涂层系统及工艺技术领域[0001]本发明创造涉及一种给模具或刀片涂层的系统及工艺，具体地涉及一种采用化学气相沉积法对模具或刀片或金属零件的表面均匀涂层的系统及工艺。背景技术[0002]在机加工企业，大量使用钢质模具，硬质合金模具，硬质合金刀片及金属零部件，现有产品，大都是直接采用钢材或合金加工后，即使用，由于表面无涂层，其耐磨损性能差，使用寿命短，给企业造成生产成本提高，也有对钢质模具，硬质