化学气相沉积法涂层装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102953049A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102953049A(43)申请公布日2013.03.06(21)申请号201110246181.2(22)申请日2011.08.25(71)申请人沈阳金研机床工具有限公司地址110045辽宁省沈阳市皇姑区陵东乡观音路(72)发明人朴万成黄宇哲李成哲金哲男金上万李权星王宏刚(74)专利代理机构沈阳杰克知识产权代理有限公司21207代理人金春华(51)Int.Cl.C23C16/455(2006.01)C23C16/44(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图22页(54)发明名称化学气相沉积法涂层装置(57)摘要本发明创造涉及化学气相沉积法涂层装置。采用的技术方案是：包括反应炉，反应炉内设有支撑筒，支撑筒上端设有排气帽，反应炉和支撑筒之间为尾气通道，支撑筒内从上到下依次为沉积区、气体分配区和预热区；沉积区内：设有若干托盘），托盘上设有若干通气孔Ⅰ；气体分配区内：支架Ⅰ固定挡板，挡板上端安装至少三层隔板，支架Ⅱ固定隔板，隔板上设有若干通气孔Ⅱ；预热区内：安装若干层预热板，进气管的出口端与气体分配区相通，支撑筒在预热区部位的下端设有尾气入口，预热区的下端设有尾气出口。还设有加热炉，反应炉置于加热炉内。采用本发明创造的涂层装置，涂层均匀度高，具有较高的附着力，提高了产品的耐磨损性和耐缺损性。CN1029534ACN102953049A权利要求书1/1页1.化学气相沉积法涂层装置，包括反应炉（1），其特征在于：反应炉（1）内设有支撑筒（3），支撑筒（3）上端设有排气帽（2），支撑筒（3）内从上到下依次为沉积区（4）、气体分配区（5）和预热区（6）；沉积区（4）内：设有若干托盘（41），托盘（41）上设有若干通气孔Ⅰ（42）；气体分配区（5）内：支架Ⅰ（54）固定挡板（53），挡板（53）上端安装至少三层隔板（51），支架Ⅱ（52）固定隔板（51），隔板（51）上设有若干通气孔Ⅱ（55）；预热区（6）内：安装若干层预热板（63），进气管（61）的出口端与气体分配区（5）相通，支撑筒（3）在预热区部位的下端设有尾气入口（62），预热区（6）的下端设有尾气出口（64）。2.如权利要求1所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：在气体分配区（5）内：不同层隔板（51）上的通气孔Ⅱ（55）的孔径相同或不同。3.如权利要求2所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：在气体分配区（5）内：从最下层隔板向最上层隔板，不同层隔板（51）上的通气孔Ⅱ（55）的孔径依次增加。4.如权利要求1、2或3所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：设有加热炉（7），反应炉（1）置于加热炉（7）内。5.如权利要求4所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：加热炉（7）分成若干段加热区，每段加热区由接线柱（71）、加热装置（73）和热电偶（72）组成。6.如权利要求4所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：加热炉（7）内从内到外依次设有绝缘隔离层（74）、保温层Ⅰ（75）和保温层Ⅱ（76）。7.如权利要求6所述的化学气相沉积法涂层装置，其特征在于：加热炉（7）分成若干段加热区，每段加热区由接线柱（71）、加热装置（73）和热电偶（72）组成。2CN102953049A说明书1/3页化学气相沉积法涂层装置技术领域[0001]本发明创造涉及一种给模具或刀片涂层的装置，具体地涉及一种采用化学气相沉积法对模具或刀片或金属零件的表面均匀涂层的装置。背景技术[0002]在机加工企业，大量使用钢质模具，硬质合金模具，硬质合金刀片及金属零部件，现有产品，大都是直接采用钢材或合金加工后，即使用，由于表面无涂层，其耐磨损性能差，使用寿命短，给企业造成生产成本提高，也有对钢质模具，硬质合金模具，硬质合金刀片及金属零部件等表面进行涂层的，但大都采用物理法，涂层不均匀，附着力低，因此同样影响使用寿命。发明内容[0003]为了解决以上问题，本发明创造提供一种采用化学气相沉积原理的涂层装置，采用本发明创造的涂层装置，基体涂层均匀度高，涂层具有较高的附着力，提高了产品的耐磨损性和耐缺损性。[0004]本发明创造采用的技术方案是：化学气相沉积法涂层装置，包括反应炉，反应炉内设有支撑筒，支撑筒上端设有排气帽，支撑筒内从上到下依次为沉积区、气体分配区和预热区；沉积区内：设有若干托盘，托盘上设有若干通气孔Ⅰ；气体分配区内：支架Ⅰ固定挡板，挡板上端安装至少三层隔板，支架Ⅱ固定隔板，隔板上设有若干通气孔Ⅱ；预热区内：安装若干层预热板，进气管的出口端与气体分配区相通，支撑筒在预热区部位的下端设有尾气入口，预热区的下端设有尾气出口。[0005]上述的化学气相沉积法涂层装置：在