铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102995105A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102995105A(43)申请公布日2013.03.27(21)申请号201210518177.1(22)申请日2012.12.04(71)申请人英利集团有限公司地址071051河北省保定市翠园街722号(72)发明人张运锋刘磊孟庆超李高非刘新辉(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人吴贵明张永明(51)Int.Cl.C30B11/00(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图22页(54)发明名称铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉(57)摘要本发明提供了一种铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。其中，散热底板包括：底板本体（10），底板本体（10）上设有第一孔区（11）和第二孔区（12），第一孔区（11）环绕设置在第二孔区（12）的外侧，第一孔区（11）内设有多个第一通孔（111），第二孔区（12）内设有多个第二通孔（121），多个第一通孔（111）的过流面积之和不同于多个第二通孔（121）的过流面积之和。本发明的散热底板在散热时可以使散热底板与石英坩埚相接触的表面温度分布更均匀，进而，使液体硅形成的晶核更均匀。CN10295ACN102995105A权利要求书1/1页1.一种铸锭多晶炉的散热底板，包括：底板本体（10），其特征在于，所述底板本体（10）上设有第一孔区（11）和第二孔区（12），所述第一孔区（11）环绕设置在所述第二孔区（12）的外侧，所述第一孔区（11）内设有多个第一通孔（111），所述第二孔区（12）内设有多个第二通孔（121），多个所述第一通孔（111）的过流面积之和不同于多个所述第二通孔（121）的过流面积之和。2.根据权利要求1所述的散热底板，其特征在于，相邻两个所述第一通孔（111）的孔心之间的距离等于相邻两个所述第二通孔（121）的孔心之间的距离，所述第一通孔（111）的孔径小于所述第二通孔（121）的孔径。3.根据权利要求1所述的散热底板，其特征在于，所述第一通孔（111）和所述第二通孔（121）的孔径均相等，相邻两个所述第一通孔（111）的孔心之间的距离大于相邻两个所述第二通孔（121）的孔心之间的距离。4.根据权利要求1所述的散热底板，其特征在于，在所述第一通孔（111）内和/或所述第二通孔（121）内填充有导热率小于所述底板本体（10）的导热率的导热材料。5.根据权利要求1所述的散热底板，其特征在于，多个所述第一通孔（111）的过流面积与多个所述第二通孔（121）的过流面积之和小于所述底板本体（10）的横截面面积的70%。6.根据权利要求1所述的散热底板，其特征在于，所述底板本体（10）为矩形板或圆盘形板。7.根据权利要求1所述的散热底板，其特征在于，所述第一通孔（111）和第二通孔（121）的过流面均呈圆形或多边形。8.根据权利要求1所述的散热底板，其特征在于，所述底板本体（10）为石墨板。9.根据权利要求1所述的散热底板，其特征在于，所述底板本体（10）的厚度在25mm至35mm的范围之内。10.一种铸锭多晶炉，包括：坩埚和支撑设置在所述坩埚底部的散热底板，其特征在于，所述散热底板为权利要求1至9中任一项所述的散热底板。2CN102995105A说明书1/3页铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉技术领域[0001]本发明涉及铸锭多晶热场散热装置的技术领域，具体而言，涉及一种铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。背景技术[0002]如图1所示，现有技术中的散热底板10′是实心长方形板，用于支撑盛放有液体硅的石英坩埚20′并用于该石英坩埚20′的散热。[0003]加热石英坩埚20′的方式主要有两种，一种是通过四周辐射加热，另一种是通过底部加热。上述两种加热方式均使石英坩埚20′受热不均匀，散热底板的各处导热率相同，各处的散热速度是基本相同的，因此经散热底板10′散热后，石英坩埚20′的底部温度分布仍然不均匀，这样导致石英坩埚20′的底部的水平温度梯度小的区域形成的硅晶粒大，水平温度梯度大的区域形成的硅晶粒小。晶粒均匀度差异较大会直接导致晶体品质较差，进而导致光伏电池的转换率低。发明内容[0004]本发明旨在还提供一种散热时使石英坩埚底部温度分布更均匀的铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。[0005]为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种铸锭多晶炉的散热底板，包括：底板本体，底板本体上设有第一孔区和第二孔区，第一孔区环绕设置在第二孔区的外侧，第一孔区内设有多个第一通孔，第二孔区内设有多个第二通孔，多个第一通孔的过流面积之和不同于多个第二通孔的过流面积之和。[0006]进一步地，相邻两个第一