多晶铸锭炉铸锭容量调节装置.pdf
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多晶铸锭炉铸锭容量调节装置.pdf
一种多晶铸锭炉铸锭容量调节装置,包括下炉体的座套、石墨立柱、石墨下固定板和定向凝固块,石墨立柱包括下固定调节套和上调节柱,下固定调节套的下段套装在座套中,在下固定调节套的上端设有内螺纹孔,上调节柱为上小下大的台阶同心轴,下段为设有外螺纹配柱体,上调节柱的下段外螺纹旋接在下固定调节套的内螺纹孔中,石墨下固定板套装在石墨立柱的上调节柱上,由石墨立柱的上台阶轴向限位,上调节柱的上端套装在定向凝固块下端设有的定位孔中。由于石墨立柱高度方向可调,使定向凝固块在高度方向可调,使现有的多晶铸锭炉具备铸锭有效容量增大的技
多晶铸锭炉的石墨底盘及多晶铸锭炉.pdf
本发明公开了一种多晶铸锭炉的石墨底盘,石墨底盘上设置供气流进入的进气口,所述石墨底盘内围绕所述进气口设置多个与所述进气口连通的气室,各所述气室中设置多个用于对进入所述气室中的气流进行导流的导流部件;本发明的多晶铸锭炉的石墨底盘,在石墨底盘的进气口周围形成温度始终较低的气室,便于长晶初期形成中部微凸的生长界面,然后通过来回曲折迂回设置的布满石墨底盘周边的气道,使冷却气体充分换热,提升了多晶硅铸锭的质量,便于调节晶相结构,结构简单,易于实施,制造成本低廉,易于推广。
铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉.pdf
本发明提供了一种铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。其中,散热底板包括:底板本体(10),底板本体(10)上设有第一孔区(11)和第二孔区(12),第一孔区(11)环绕设置在第二孔区(12)的外侧,第一孔区(11)内设有多个第一通孔(111),第二孔区(12)内设有多个第二通孔(121),多个第一通孔(111)的过流面积之和不同于多个第二通孔(121)的过流面积之和。本发明的散热底板在散热时可以使散热底板与石英坩埚相接触的表面温度分布更均匀,进而,使液体硅形成的晶核更均匀。
多晶铸锭炉及其热门装置.pdf
本发明公开了一种热门装置,包括:第一热门装置,其具有至少两个相对设置的第一门体;驱动各个第一门体相向或相离运动的第一驱动装置;设置于第一热门装置下侧的第二热门装置,且该第二热门装置的开启方向与第一热门装置的开启方向具有夹角,其具有至少两个相对设置的第二门体;驱动各个第二门体相向或相离运动的第二驱动装置。本发明通过错层式的至少两个热门装置,使得两个热门同时开启时,开启区域由中间逐渐向四周扩展,形成了一个开度能控制的温度传导区域,使晶体生长更加符合工艺要求。本发明有效地控制晶体生长区域的温度梯度,控制温度辐射
多晶铸锭炉精准调温装置.pdf
本发明的目的是提供一种多晶铸锭炉精准调温装置,多晶铸锭炉包括炉壳,炉壳顶部为炉盖;其特征在于:炉壳内为保温层,保温层内设坩埚,坩埚上方设有上加热器;坩埚底部设有底座,底座下方设有加热板;坩埚外侧壁纵截面上对称设有若干组加热器,构成环状加热器;加热板下方设有热门。