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一种多晶铸锭炉散热平台以及多晶铸锭炉.pdf
2023-06-18
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一吃****永贺
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一种多晶铸锭炉散热平台以及多晶铸锭炉.pdf
本发明公开了一种多晶铸锭炉散热平台，包括从上到下依次设置的底板和定向导热块，还包括设置在底板顶部和/或底板与定向导热块之间的横向导热板，横向导热板为导热碳纤维经纬编制而成的横向导热板。除此之外，本发明还公开了一种多晶铸锭炉，包括坩埚和如上的多晶铸锭炉散热平台，坩埚设置在多晶铸锭炉散热平台的顶部。所述多晶铸锭炉以及多晶铸锭炉散热平台，通过在底板顶部和/或底板与定向导热块之间设置横向导热板，而横向导热板为导热碳纤维经纬编制而成的横向导热板，使得多晶铸锭炉的坩埚底部的横向热传导速率远大于竖直热传导速率，有利于使
2023-06-18
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铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉.pdf
本发明提供了一种铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉。其中，散热底板包括：底板本体（10），底板本体（10）上设有第一孔区（11）和第二孔区（12），第一孔区（11）环绕设置在第二孔区（12）的外侧，第一孔区（11）内设有多个第一通孔（111），第二孔区（12）内设有多个第二通孔（121），多个第一通孔（111）的过流面积之和不同于多个第二通孔（121）的过流面积之和。本发明的散热底板在散热时可以使散热底板与石英坩埚相接触的表面温度分布更均匀，进而，使液体硅形成的晶核更均匀。
2023-06-20
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多晶铸锭炉的石墨底盘及多晶铸锭炉.pdf
本发明公开了一种多晶铸锭炉的石墨底盘，石墨底盘上设置供气流进入的进气口，所述石墨底盘内围绕所述进气口设置多个与所述进气口连通的气室，各所述气室中设置多个用于对进入所述气室中的气流进行导流的导流部件；本发明的多晶铸锭炉的石墨底盘，在石墨底盘的进气口周围形成温度始终较低的气室，便于长晶初期形成中部微凸的生长界面，然后通过来回曲折迂回设置的布满石墨底盘周边的气道，使冷却气体充分换热，提升了多晶硅铸锭的质量，便于调节晶相结构，结构简单，易于实施，制造成本低廉，易于推广。
2023-06-17
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2023-06-20
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一种多晶铸锭炉.pdf
本发明实施例提供了一种多晶铸锭炉，包括：炉体，其内部具有圆筒形炉腔；隔热笼，其与所述炉腔外形匹配，并悬设在所述炉腔内；保温机构，其装设于所述隔热笼内以形成至少部分位于所述隔热笼内的圆筒形保温腔室；加热机构，其装设于所述保温腔室内；以及冷却机构，其装设于所述保温腔室内，用于在硅料进入晶体生长阶段后降低保温腔室底部的温度，形成上高下低的垂直温度场。本发明的多晶铸锭炉能够用于有效解决炉腔内热场空间利用率差，硅片光电转换效率不均匀，晶体生长动力低的问题，保证晶体的生产效率及质量。
2023-06-17
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