多晶硅铸锭炉的石墨加热器及多晶硅铸锭炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106757338A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201710022956.5(22)申请日2017.01.12(71)申请人江苏协鑫硅材料科技发展有限公司地址221004江苏省徐州市经济开发区杨山路88号(72)发明人郭晓琛王双丽田义良黄春来(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人唐清凯(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B28/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称多晶硅铸锭炉的石墨加热器及多晶硅铸锭炉(57)摘要本发明涉及一种多晶硅铸锭炉的石墨加热器，包括：顶部加热器，包括电阻值相等的两部分及两个石墨电极，所述两个石墨电极按照将所述电阻值相等的两部分并联的方式接线；侧部加热器组件，包括围成一圈且电阻值相等的四部分及四个石墨电极，所述四个石墨电极按照将所述电阻值相等的四部分并联的方式接线。上述石墨加热器，顶部加热器和侧部加热器组件各包括阻值相等若干部分，通过石墨电极实现并联接线，能够保证顶部加热器的每一部分上的电压彼此相等，相同时间内发热量相等；及保证侧部加热器组件的每一部分的电压也彼此相等，相同时间内发热量相等，从而能够在铸锭炉内获得均匀的热场。还提出了一种具有上述加热器的多晶硅铸锭炉。CN106757338ACN106757338A权利要求书1/1页1.一种多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，包括：顶部加热器，包括电阻值相等的两部分及两个石墨电极，所述两个石墨电极按照将所述电阻值相等的两部分并联的方式接线；侧部加热器组件，包括围成一圈且电阻值相等的四部分及四个石墨电极，所述四个石墨电极按照将所述电阻值相等的四部分并联的方式接线。2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，还包括第一线端和第二线端，其中顶部加热器所连接的两个石墨电极分别连接至一线端和第二线端，所述侧部加热器组件所连接的四个石墨电极分别连接至第一线端或第二线端。3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，第一线端和第二线端用以连接三相电源中的两相，或用以连接直流电源的正极和负极。4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，所述侧部加热器组件包括四个侧部加热器，通过四个转接板依次首尾连接。5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，所述侧部加热器组件上的四个石墨电极分别连接在所述四个转接板上。6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，所述转接板包括间隔设置的两个转接部、连接两个转接部的连接部，所述转接部连接侧部加热器，侧部加热器组件上的石墨电极则连接所述连接部。7.根据权利要求6所述的多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，所述顶部加热器位于侧部加热器组件的四个石墨电极之间，所述连接部朝向所述顶部加热器延伸。8.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，所述侧部加热器与所述转接板在竖直方向上具有至少两个连接位置，使相邻的侧部加热器的相对高度位置可调。9.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的石墨加热器，其特征在于，所述顶部加热器由两个加热板拼接而成，所述顶部加热器的两个石墨电极位于两个加热板的拼接线上。10.一种多晶硅铸锭炉，包括炉体，其特征在于，所述炉体内设置有如权利要求1至9任一项所述的加热器。2CN106757338A说明书1/4页多晶硅铸锭炉的石墨加热器及多晶硅铸锭炉技术领域[0001]本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种用于多晶硅铸锭炉的石墨加热器，还涉及一种安装有这种石墨加热器的多晶硅铸锭炉。背景技术[0002]在晶体硅发电领域，行业竞争日趋激烈，晶体硅越来越向高品质、高效率产品方向发展。业界普遍认为一个热量分布均匀的晶体硅生长炉的热场结构是高效、高品质晶体硅生长必不可少的条件。[0003]然而目前的多晶铸锭炉，普遍采用顶(1面)侧(4面)5面加热方式，顶侧加热器三相电阻R按三角形接法连接外部电源。由于侧部4个面上相同阻值加热器要均分为三相，然后接外电路的3相电，必然导致热场四个面热量分布不均匀，这样晶硅生长炉内部热量分布不对称，导致方锭的晶体生长质量不是完全一致。[0004]目前常规使用的顶部加热器连接方式等效为电路中的三角形接法，三相设计电阻R0一样保证输出功率也一样。侧部加热器由于是四个面的加热器R1由三个吊臂R2连接外部三相电，由于四个面上只有三个面有吊臂，导致热量在炉腔内分布不均匀。从而影响晶体生长的界面，进而影响晶体生长的质量。发明内容[0005]基于此，有必要提供一种多晶硅铸锭炉的石墨加热器，能够在铸锭炉内获得均匀的热场。[0006]一种多