拉晶炉用保温材料的生产方法.pdf
Jo****63
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一种拉晶炉用保温材料的生产方法,其技术要点是,包括以下步骤:选择碳化或石墨化的碳纤维复合材料;将碳纤维复合材料用有机复合树脂浸泡或涂刷表面1~3次后,干燥备用;固化后,在碳纤维复合材料表面涂敷封孔剂,干燥备用;选择碳化或石墨化的碳纤维毡;将碳纤维毡用有机复合树脂浸泡或涂刷表面后,干燥备用;在处理过的碳纤维复合材料和碳纤维毡表面分别涂敷胶黏剂,将两种材料缠绕贴合在一起,用模具固定后固化;然后将产品送入高温炉在进行碳化、石墨化,表面处理后送入纯化炉,在惰性气体、氯气中纯化,取出即得成品。解决了现有技术生产工艺
拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法.pdf
本申请公开了一种拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法,其中,拉晶夹具应用于二次转肩拉晶工艺,包括上下间隔设置的第一安装件和第二安装件,第一安装件和第二安装件上同轴设置有通孔,通孔内穿设有用于向上拉晶的拉晶绳,且所述拉晶绳上设置有能与第二安装件向上定位配合的定位部;围绕通孔的轴线设置有至少三个卡爪,各卡爪在水平方向上具有夹持状态和释放状态;第一连杆机构和第二连杆机构,至少用于在定位部与第二安装件向上定位配合,且第二安装件随所述拉晶绳向上运动预定距离后,控制各卡爪由释放状态同步切换为夹持状态。上述方案用于在拉晶过程中对
拉晶炉的副室装置、拉晶炉及其控制方法.pdf
本发明涉及拉晶炉技术领域,提供一种拉晶炉的副室装置、拉晶炉及其控制方法,包括第一副室,第一副室内部设有用于提拉硅棒的第一提拉机构;第二副室内部设有吸料机构以及用于提拉吸料机构的第二提拉机构;旋转机构用于与拉晶炉的炉体转动连接,旋转机构分别与第一副室和第二副室相连接;驱动机构的驱动端与旋转机构相连接,驱动机构能够驱动旋转机构相对于炉体旋转,以使得第一副室或第二副室能够与炉体的炉口对接。本发明利用旋转机构带动第一副室和第二副室分别与炉体的炉口对接切换,实现了拉制硅棒与吸料除杂两种工作模式的快速切换,既能够提高
1806炉晶棒拉晶方法.pdf
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拉晶炉的冷却装置及拉晶炉.pdf
本发明涉及晶体生产制造装置技术领域,提供一种拉晶炉的冷却装置及拉晶炉,包括用于供冷却介质流通的螺旋管道,螺旋管道的截面形状具有至少一个直线边,至少一个直线边所在的螺旋管道表面为第一吸热面,其余螺旋管道的表面为第二吸热面,第一吸热面平行于螺旋管道的中轴线,使用本装置时,可以在拉晶炉的炉壁内部以及腔室内部分别设置螺旋管道,由各自螺旋管道的第一吸热面分别螺旋环绕于腔室周围以及腔室内生长的晶体周围,相较于现有技术,第一吸热面各局部位置从整体上更靠近发热体,冷却效果更优,另外第二吸热面还能够在侧向进行换热冷却,整体