拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115787064A(43)申请公布日2023.03.14(21)申请号202111060051.X(22)申请日2021.09.09(71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址710100陕西省西安市长安区航天中路388号(72)发明人朱永刚李侨(74)专利代理机构北京志霖恒远知识产权代理有限公司11435专利代理师郭栋梁(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图7页(54)发明名称拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法(57)摘要本申请公开了一种拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法，其中，拉晶夹具应用于二次转肩拉晶工艺，包括上下间隔设置的第一安装件和第二安装件，第一安装件和第二安装件上同轴设置有通孔，通孔内穿设有用于向上拉晶的拉晶绳，且所述拉晶绳上设置有能与第二安装件向上定位配合的定位部；围绕通孔的轴线设置有至少三个卡爪，各卡爪在水平方向上具有夹持状态和释放状态；第一连杆机构和第二连杆机构，至少用于在定位部与第二安装件向上定位配合，且第二安装件随所述拉晶绳向上运动预定距离后，控制各卡爪由释放状态同步切换为夹持状态。上述方案用于在拉晶过程中对晶棒进行夹持，防止晶棒掉落，砸坏石英坩埚，造成较大的经济损失及引起安全事故的问题。CN115787064ACN115787064A权利要求书1/2页1.一种拉晶夹具，应用于二次转肩拉晶工艺，其特征在于，包括：上下间隔设置的第一安装件和第二安装件，所述第一安装件和所述第二安装件上同轴设置有通孔，所述通孔内穿设有用于向上拉晶的拉晶绳，且所述拉晶绳上设置有能与所述第二安装件向上定位配合的定位部；围绕所述通孔的轴线设置有至少三个卡爪，各所述卡爪在水平方向上具有夹持状态和释放状态；所述第二安装件与各所述卡爪之间连接有第一连杆机构，所述第一安装件与各所述第一连杆机构之间连接有第二连杆机构；所述第一连杆机构和所述第二连杆机构，至少用于在所述定位部与所述第二安装件向上定位配合，且所述第二安装件随所述拉晶绳向上运动预定距离后，控制各所述卡爪由所述释放状态同步切换为所述夹持状态。2.根据权利要求1所述的拉晶夹具，其特征在于，所述第一连杆机构包括转接件，所述转接件上铰接有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆竖直设置，所述第一连杆和所述第二连杆远离所述转接件的一端分别与同一所述卡爪铰接配合，所述转接件与所述第一连杆和所述第二连杆的铰接中心位于一水平线上，所述卡爪与所述第一连杆和所述第二连杆的铰接中心位于另一水平线上；所述转接件上铰接有第三连杆，所述第三连杆和所述转接件的铰接轴线，与所述第二连杆和所述转接件的铰接轴线同轴，所述第三连杆远离所述转接件的一端与所述第二安装件铰接配合，所述第二连杆上铰接有第四连杆，所述第四连杆远离所述第二连杆的一端与所述第二安装件铰接配合，所述第三连杆及所述第四连杆水平设置，所述第二安装件与所述第三连杆和所述第四连杆的铰接中心位于一竖直线上，所述第三连杆与所述转接件的铰接中心，和所述第二连杆与所述第四连杆的铰接中心位于另一竖直线上；所述第二连杆机构包括第五连杆，所述第五连杆的一端与所述第三连杆铰接，另一端与所述第一安装件铰接。3.根据权利要求2所述的拉晶夹具，其特征在于，所述转接件上设置有第一竖向引导结构。4.根据权利要求3所述的拉晶夹具，其特征在于，所述转接件上设置有垂直于所述通孔轴线的凸起，所述凸起向远离所述通孔的方向延伸，所述第一竖向引导结构设置于所述凸起延伸的末端。5.根据权利要求3或4所述的拉晶夹具，其特征在于，所述第一竖向引导结构为竖向导向槽或竖向导向块。6.根据权利要求3或4所述的拉晶夹具，其特征在于，所述第一安装件上转动连接有夹持保持件，所述夹持保持件用于在所述夹持状态，与所述第二安装件在竖直方向上定位配合。7.根据权利要求6所述的拉晶夹具，其特征在于，所述夹持保持件远离所述第一安装件的一端设置有定位钩，所述第二安装件上设置有定位面，所述定位钩钩接在所述定位面。8.根据权利要求7所述的拉晶夹具，其特征在于，所述第二安装件包括上下设置第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和所述第二安装板之间固定连接有中间连接板，所述第三连杆及所述第四连杆的一端与所述中间连接板铰接；所述第一安装板的底面为所述定位面。2CN115787064A权利要求书2/2页9.根据权利要求8所述的拉晶夹具，其特征在于，所述第一安装板的侧面为朝向所述第一安装板顶面中心倾斜的第一斜面，所述定位钩上设置有与所述第一斜面接触配合的第二斜面。10.一种拉晶炉，其特征在于，包括炉体副室以及权利要求3－9任一项所述的拉晶夹具；所述炉体副室内表面上设置有第二竖向引导结构，所述第二竖向引导结构