用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103233266A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103233266103233266A(43)申请公布日2013.08.07(21)申请号201310161902.9(22)申请日2013.05.03(71)申请人江苏海翔化工有限公司地址213200江苏省常州市金坛市晨风路888号(72)发明人高阳李益群杨志江郭丽娟(51)Int.Cl.C30B15/30(2006.01)C30B29/06(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图1页附图1页(54)发明名称用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置(57)摘要本发明涉及一种用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置，包括基座和用于装夹硅棒的抓杆组，基座可以将硅棒取出装置固定在单晶炉副室窗口，抓杆可以抓持住硅棒，保持硅棒在移动过程中的稳定性。本发明提供的一种硅棒取出装置不仅有效的解决了单晶硅棒在旋转提升过程中摆动较大，单晶硅棒旋转同心度很不稳定的问题，而且解决了由于增大投料量后造成的晶棒过长，单晶炉副室高度不够，晶棒无法正常取出的问题，从而实现了增大单炉投料量，提高单晶炉设备产量和生产效率，节约拉晶时间，减少单位产量内的石英坩埚用量和单晶炉热场石墨件的损耗，大幅度降低成本的目的。CN103233266ACN10326ACN103233266A权利要求书1/1页1.一种用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置，其特征在于包括：基座（1），所述基座（1）中部具有通孔（101），位于基座（1）上表面、通孔（101）的同一侧具有两个上凸块（102），所述上凸块（102）与螺栓（103）螺纹连接于上凸块（102）中心，所述螺栓（103）端部连接有活动定位块（104）；所述活动定位块（104）相对于通孔（101）的对应位置有两个固定定位块（105），固定定位块（105）固定连接于基座（1）上表面；所述基座（1）下表面具有两个相对设置的下凸块（106），所述下凸块（106）之间穿设有转动轴（107），所述转动轴（107）中部铰接有第一连杆（108）和第二连杆（109），所述第一连杆（108）端部铰接有第三连杆（110），第二连杆（109）端部铰接有第四连杆（111），第三连杆（110）与第四连杆（111）端部铰接，四个连杆构成四边形结构，第一连杆（108）与第三连杆（110）铰接处铰接有第一滑块（112），第二连杆（109）与第四连杆（111）铰接处铰接有第二滑块（113），第一滑块（112）与第二滑块（113）之间装有调节螺杆（114），第一滑块（112）与调节螺杆（114）为固定连接，第二滑块（113）与调节螺杆（114）为螺纹连接；用于装夹硅棒的抓杆组（2），所述抓杆组（1）穿过所述基座（1）的通孔（101），所述的抓杆组（2）包括第一抓杆（21）和第二抓杆（22），所述第一抓杆（21）和第一连杆固定连接，第二抓杆与第二连杆（109）固定连接。2.根据权利要求1所述的用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置，其特征在于：所述第一连杆（108）、第二连杆（109）、第三连杆（110）和第四连杆（111）的长度相等。3.根据权利要求1所述的用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置，其特征在于：所述调节螺杆（114）一端固定连接有旋转把手（115）。4.根据权利要求1所述的用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置，其特征在于：所述抓杆组（2）是一对半环形抓杆。2CN103233266A说明书1/3页用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置技术领域[0001]本发明涉及直拉法（Cz法）单晶炉配件技术领域，尤其是一种用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置。背景技术[0002]国内用于拉制6-8英寸太阳能和半导体级硅单晶生长炉型号大多属85炉系列。其炉体结构基本参数为；[0003]主炉筒尺寸：Ф850X1250mm[0004]翻板阀通径：Ф260mm[0005]副炉室尺寸：Ф280X2000mm[0006]拉制晶体直径：φ6"-8"[0007]熔料量：65kg--90kg（18″坩埚）[0008]95kg--120kg（20″坩埚）[0009]在实际生产过程中，为了提高产量，降低生产成本，最大限度地利用石英坩埚的容积，在满足生产工艺要求的情况下，往往采用增加副炉室长度，加大投料量的方法来提高石英坩埚的利用价值，但是在实际生产中我们发现，当单晶炉副炉室的高度超过2000mm以上时，拉制的单晶硅棒在旋转提升过程中摆动较大，单晶硅棒旋转同心度很不稳定，时常拉制出A、B段、位错等质量差的单晶硅棒，给企业造成损失。[0010]另一方面，在用20″(英寸)石英坩埚拉制6.5"(英寸)单晶时，由于受到单晶