用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115679435A(43)申请公布日2023.02.03(21)申请号202211268657.7(22)申请日2022.10.17(71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司地址710065陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室(72)发明人杨文武张雯(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)61253专利代理师宋东阳姚勇政(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉(57)摘要本公开涉及用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉，该用于单晶炉的防晶棒掉落装置包括设置在单晶炉的副炉室处的感测装置、抱接装置和止挡件，其中，感测装置用于感测晶棒是否发生掉落；抱接装置包括单独的抱接件，抱接装置用于根据感测装置感测到晶棒发生掉落而使抱接件抱接并固定至晶棒的外表面；以及止挡件设置在抱接装置的下方，并且止挡件构造成能够止挡随掉落的晶棒下落的抱接件，以由此止挡晶棒。CN115679435ACN115679435A权利要求书1/1页1.一种用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，包括设置在所述单晶炉的副炉室处的感测装置、抱接装置和止挡件，其中，所述感测装置用于感测晶棒是否发生掉落；所述抱接装置包括单独的抱接件，所述抱接装置用于根据所述感测装置感测到所述晶棒发生掉落而使所述抱接件抱接并固定至所述晶棒的外表面；以及所述止挡件设置在所述抱接装置的下方，并且所述止挡件构造成能够止挡随掉落的所述晶棒下落的所述抱接件，以由此止挡所述晶棒。2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述抱接装置包括电磁弹射装置，所述电磁弹射装置用于在所述感测装置感测到所述晶棒发生掉落时将所述抱接件电磁弹射至所述晶棒。3.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述感测装置通过感测所述晶棒的移动方向和/或移动速率来判断所述晶棒是否发生掉落。4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述感测装置在感测到所述晶棒向下移动且移动速率大于2mm/min时判定所述晶棒发生掉落。5.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述抱接件包括多个弧形部段，所述多个弧形部段能够在所述抱接件抱接所述晶棒时绕所述晶棒的周向布置。6.根据权利要求5所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述多个弧形部段均为磁体并且设置成使得所述多个弧形部段中的每相邻布置的两个弧形部段的磁性相反，以使得所述多个弧形部段在抱接所述晶棒时能够通过磁吸力固定至所述晶棒的外表面。7.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述抱接装置布置在所述副炉室的下端处。8.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述止挡件为固定至所述副炉室的内壁上的环形止挡件。9.根据权利要求1或2所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置，其特征在于，所述止挡件为设置在所述单晶炉的所述副炉室与主炉室之间的凸台。10.一种单晶炉，其特征在于，包括根据权利要求1至9中的任一项所述的用于单晶炉的防晶棒掉落装置。2CN115679435A说明书1/5页用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉技术领域[0001]本公开涉及半导体技术领域，具体地，涉及用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉。背景技术[0002]在单晶炉中进行拉晶时，多晶硅原料被投入坩埚中并熔化成硅溶液，并且籽晶被浸入硅溶液中并被慢慢旋转拉出，以在单晶炉的特定热场下拉制形成晶棒。[0003]在拉制过程中，晶棒的重量会不断增加。当所拉制的晶棒尚短时，例如，晶棒长度小于1000mm时，由于重量较小，一般不会发生籽晶或籽晶绳断裂的情况。然而，当拉制进行到晶棒从单晶炉的主炉室进入副炉室中时，由于晶棒重量变得相对较大，存在籽晶或籽晶绳断裂的风险。而且，由于对更长长度的晶棒的需求，投料量增加，并且由此拉制的晶棒的重量也变得相对更大，从而也更容易在拉制过程中出现籽晶或籽晶绳断裂的问题。另一方面，因例如地震等其他原因引发的单晶炉振动也可能导致籽晶或籽晶绳发生断裂。[0004]一旦籽晶或籽晶绳断裂，晶棒就会发生掉落，由此会对单晶炉内的热场结构、坩埚等造成损坏，并且坩埚内的熔融硅溶液也会发生飞溅和泄漏，导致产生安全隐患，并会造成炉内污染。发明内容[0005]本部分提供了本公开的总体概要，而不是对本公开的全部范围或所有特征的全面公开。[0006]本公开的目的在于提供一种能够阻止晶棒掉落而对单晶炉内的热场结构、坩埚等造成损坏的用于单晶炉的防晶棒掉落装置。[0007]为了实现上述目的