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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104609416A(43)申请公布日2015.05.13(21)申请号201510083393.1(22)申请日2015.02.15(71)申请人重庆墨希科技有限公司地址401329重庆市九龙坡区凤笙路15号附3号申请人中国科学院重庆绿色智能技术研究院(72)发明人于本文史浩飞徐鑫李占成钟达(74)专利代理机构北京轻创知识产权代理有限公司11212代理人杨立(51)Int.Cl.C01B31/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种用于石墨烯生长的载具以及制备石墨烯的方法(57)摘要本发明涉及一种用于石墨烯生长的载具以及制备石墨烯的方法,载具包括立方体框架,立方体框架的底端上设有底挡板,立方体框架相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板,两个侧挡板相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽,两个侧挡板上的侧挡板槽分别一一对应,在立方体框架设有侧挡板的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽,立方体框架的顶端设有若干横向石英棒,相邻的两个横向石英棒之间设有碳碳复合材料薄板,碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板的侧挡板槽内。将生长基底铺设在碳碳复合材料薄板上,将纵向石英棒依次穿过碳碳复合材料薄板和生长基底后,将生长基底置于载具上,有效防止生长基底粘连,提升炉体加工产能。CN104609416ACN104609416A权利要求书1/1页1.一种用于石墨烯生长的载具,其特征在于,包括立方体框架(1),所述立方体框架(1)的底端上设有底挡板(2),所述立方体框架(1)相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板(3),两个所述侧挡板(3)相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽(4),两个所述侧挡板(3)上的所述侧挡板槽(4)分别一一对应,在所述立方体框架(1)设有所述侧挡板(3)的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽(5),所述立方体框架(1)的顶端设有若干横向石英棒(6),所述横向石英棒(6)的两端分别设在两个不同侧面顶边上的所述固定槽(5)内,相邻的两个所述横向石英棒(6)之间设有碳碳复合材料薄板(7),所述碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板(3)的侧挡板槽(4)内。2.根据权利要求1所述的一种用于石墨烯生长的载具,其特征在于,所述碳碳复合材料薄板(7)的上表面上设有若干水平设置的纵向石英棒(10),所述纵向石英棒(10)与所述横向石英棒(6)垂直设置。3.根据权利要求2所述的一种用于石墨烯生长的载具,其特征在于,所述侧挡板槽(4)为倾斜设置的条形槽。4.根据权利要求3所述的一种用于石墨烯生长的载具,其特征在于,所述侧挡板槽(4)的倾斜角度为15度至25度。5.根据权利要求2或3所述的一种用于石墨烯生长的载具,其特征在于,相邻的两个所述侧挡板槽之间的槽间距为4.5mm至6.0mm。6.根据权利要求2或3所述的一种用于石墨烯生长的载具,其特征在,所述侧挡板槽的槽深为25mm至55mm。7.根据权利要求1或2所述的一种用于石墨烯生长的载具,其特征在于,所述碳碳复合材料薄板(7)上均匀设有若干定位槽(8),所述纵向石英棒(10)置于所述碳碳复合材料薄板(7)的所述定位槽(8)内。8.一种制备石墨烯的方法,其特征在于,该方法通过使用权利要求1-7任一项所述的载具制备石墨烯,包括以下步骤:步骤一,在切好的生长基底(11)的上部与所述纵向石英棒(10)相对应的位置上打固定孔(9);步骤二,将所述生长基底(11)铺设在所述碳碳复合材料薄板(7)上,所述纵向石英棒(10)穿过所述生长基底(11)的上部的固定孔(9)后将所述纵向石英棒(10)放置在所述碳碳复合材料薄板(7)上,使得所述生长基底(11)的两侧分别与所述碳碳复合材料薄板(7)的两侧置于两个所述侧挡板(3)上的同一所述侧挡板槽(4)内;步骤三,将装载有生长基底(11)的载具放置于石墨烯生长装置中,使得载具设有侧挡板(3)的一面朝向石墨烯生长装置的进气口,采用化学气相沉积法沉积石墨烯薄膜;步骤四,待石墨烯生长完成后,将载具从石墨烯生长装置中取出,将所述生长基底(11)从载具上取下,即得生长有石墨烯的生长基底(11)。9.根据权利要求8所述的一种用于石墨烯生长的载具,其特征在于,所述步骤一中所述生长基底(11)上孔的数量为两个或两个以上,且与所述纵向石英棒(10)的数量相同。10.根据权利要求8所述的一种用于石墨烯生长的载具,其特征在于,所述步骤二中相邻的所述生长基底(11)的顶部通过所述横向石英棒(6)和所述碳碳复合材料薄板(7)进行隔离。2CN104609416A说明书1/4页一种用于石墨烯生长的载具以及制备石墨烯的方法技术领域[0001]本发明涉及石墨烯制备技术领域,尤其涉及一种用