预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共11页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104609863A(43)申请公布日2015.05.13(21)申请号201510018714.X(22)申请日2015.01.14(71)申请人中国人民解放军国防科学技术大学地址410073湖南省长沙市开福区砚瓦池正街137号(72)发明人李俊生程海峰孙逊刘海韬张朝阳童思超(74)专利代理机构长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙)43213代理人杨斌(51)Int.Cl.C04B35/565(2006.01)C04B41/85(2006.01)C23C16/36(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图2页(54)发明名称外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维,包括碳化硅纤维基体和在基体上沉积的SiBCN涂层,SiBCN涂层与碳化硅纤维基体通过机械咬合及化学健合方式结合,SiBCN涂层是以硼吖嗪和液态聚碳硅烷为原料通过化学气相沉积工艺制备得到;具体制备方法包括:先将碳化硅纤维基体材料超声清洗,再进行高温预处理后放入沉积炉内;置换沉积炉内的空气;在设定的真空度和温度下预热;然后导入载气和稀释气,将其带入沉积炉炉膛内;一段时间后在碳化硅纤维基体材料表面形成SiBCN涂层。本发明产品的涂层均匀、致密、高温稳定性好,具有良好的工艺性,能使碳化硅纤维的抗氧化能力大幅度提高。CN104609863ACN104609863A权利要求书1/1页1.一种外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维,其特征在于,所述碳化硅纤维包括碳化硅纤维基体和在碳化硅纤维基体上沉积的SiBCN涂层,SiBCN涂层与碳化硅纤维基体通过机械咬合及化学健合方式结合,所述SiBCN涂层是以硼吖嗪和液态聚碳硅烷为原料通过化学气相沉积工艺制备得到。2.根据权利要求1所述的外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维,其特征在于,所述碳化硅纤维基体包括碳化硅纤维单丝、碳化硅纤维束丝以及碳化硅纤维编织件中的至少一种,所述SiBCN涂层的厚度为100nm~450nm。3.一种如权利要求1所述外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将碳化硅纤维基体材料置于有机溶剂中超声清洗;(2)将超声清洗后的碳化硅纤维基体材料进行高温预处理后,放入沉积炉炉膛内;(3)对沉积炉炉膛抽真空,再充入氮气,反复进行多次,置换沉积炉炉膛内的空气;(4)将沉积炉炉膛抽至设定真空度,然后升温至设定温度预热;(5)待温度稳定后,导入载气和稀释气;控制硼吖嗪和液态聚碳硅烷挥发温度,维持反应系统压强,通过质量流量计设定与载气混合比例后,将硼吖嗪和液态聚碳硅烷载入,通过稀释气稀释后带入沉积炉炉膛内;一段沉积时间后在碳化硅纤维基体材料表面形成SiBCN涂层;(6)沉积结束后,停止导入载气及稀释气,关闭加热系统,随炉冷却至室温,即得外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维。4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中的高温预处理是在空气环境下,所述高温处理的处理温度为400℃~500℃,高温预处理的时间为0.2h~0.5h。5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中,对沉积炉炉膛抽真空至0.1Pa~1.0Pa,反复进行的次数至少为三次。6.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中的设定真空度控制为0.1Pa~0.5Pa,所述设定温度为1000℃~1400℃,设定温度下的预热时间为1.5h~2.5h。7.根据权利要求3~6中任一项所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(5)中,所述载气为氢气,纯度大于或等于99.99%。8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(5)中,所述硼吖嗪与载气的质量混合比为1∶2.5~3.2,载气流量为50.0ml/min~500.0ml/min;所述液态聚碳硅烷与载气的质量混合比为1∶1.5~2.2,载气流量为30.0ml/min~300.0ml/min。9.根据权利要求3~6中任一项所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(5)中,硼吖嗪的挥发温度控制在-15℃~-5℃,液态聚碳硅烷的挥发温度控制在115℃~125℃,所述沉积时间为1.5h~4.0h。10.根据权利要求3~6中任一项所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(5)中,所述稀释气为氢气,纯度大于或等于99.99%;稀释气流量为400.0ml/min~600.0ml/min;反应系统压强维持在300.0Pa~30000.0Pa。2CN104609863A说明书1/7页外表沉积SiBCN涂层的碳化硅纤维及其制备方法技术领域[0001]本发明属于陶瓷基复合材料及其制备技术领域,尤其涉及一种外表沉积涂层的碳化硅纤