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一种用于降温炉体的进排风系统.pdf
2023-06-19
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岚风****55
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一种用于降温炉体的进排风系统.pdf
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统，该进排风系统包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。通过所述进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度，可精确控制进入所述降温炉体内的低温的冷却介质，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关，可精确控制排出所述降温炉体的高温冷却介质，从而保证降温炉体的降温性能，进而保证半导体热处理工艺的质量。
2023-06-19
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一种用于快速降温的炉体.pdf
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于快速降温的炉体，在所述炉体的保温层内设有分别沿所述炉体轴向和周向延伸的纵向风道和横向风道，所述炉体底部的保温块上设有环形凹槽状的进风环，所述进风环上设有进风口，所述纵向风道连通所述进风口；所述横向风道的一端连通所述纵向风道，另一端连通所述炉体的炉膛，所述炉膛与所述出风口连通。通过纵向风道和横向风道可以获得较快的降温速率，使得工艺时间变短，保证了片子成膜的质量，降低了生产成本。
2023-06-19
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一种具有排风降温功能的物料粉碎系统.pdf
本实用新型公开了一种具有排风降温功能的物料粉碎系统,包括粉碎机、旋风收料器、除尘器以及冷却装置,所述粉碎机的出料端与旋风收料器的入料口连接,所述旋风收料器的出风口与除尘器的进风口连接,所述除尘器的出风口与冷却装置的进风口连接,所述粉碎机顶部设有分级机,所述旋风收料器底部设有第一闭风器,所述除尘器底部设有第二闭风器,所述冷却装置底部设有高压风机。该物料粉碎系统通过冷却装置将物料粉碎过程中产生的热量进行冷却降温,冷却后的气体经冷却装置的出风口直接排放到车间中,不会使车间的温度升高,进而保证车间舒适的生产环境。
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2023-06-20
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一种用于连续烧结窑的可控降温炉体.pdf
本发明公开了一种用于连续烧结窑的可控降温炉体，包括炉膛壁，所述炉膛壁外周围设风冷外壁，所述风冷外壁与炉膛壁之间形成风冷腔，所述炉膛壁的外周沿长度方向固定套设若干间隔的散热翅片以及布置于散热翅片之间的多级拦风板，所述拦风板的外周相对于散热翅片向外伸出，多级拦风板52平行设置且均与炉膛壁1内腔的中轴线呈螺旋角度α。本发明具有螺旋风冷、冷却效率高且能可控降温等优点。
2023-06-19
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