炉体排风控制装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102889791102889791B(45)授权公告日2014.11.19(21)申请号201210365936.5(22)申请日2012.09.27(73)专利权人北京七星华创电子股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层(72)发明人孙少东董金卫赵燕平钟华(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人韩国胜(51)Int.Cl.F27D19/00(2006.01)审查员张晴权权利要求书2页利要求书2页说明书5页说明书5页附图4页附图4页(54)发明名称炉体排风控制装置(57)摘要本发明涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置，包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。本发明对炉体排风的开关机构进行有效控制，使炉体排风控制可靠安全；同时能够有效阻挡炉体热量的逸出，具有良好的隔热效果；本发明的炉体排风控制装置结构简单，能够进行精确运作，且成本较低。CN102889791BCN102897BCN102889791B权利要求书1/2页1.一种炉体排风控制装置，其特征在于，其包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作；所述的风口结构单元包括风口隔热板和风口隔热罩，所述的风口隔热罩设在所述的风口隔热板上；所述的风口隔热板和风口隔热罩上分别设有第一通孔和第二通孔；所述的风口隔热板和风口隔热罩之间形成半密封空间，用于容纳开关主体；所述的半密封空间的侧部设有一个开口，用于通过开关主体，所述的开关主体穿过该开口并可在所述的半封闭空间直线往复移动；在开关机构开启状态下，所述的第一通孔和第二通孔形成通路；在开关机构关闭状态下，所述的开关主体完全隔断第一通孔和第二通孔。2.根据权利要求1所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的开关机构还包括开关连接部，所述的开关主体与该开关连接部相连；所述的气压驱动单元包括气缸，所述的气缸与所述的开关连接部相连，该气缸通过该开关连接部带动所述的开关主体运动；所述的气缸处于其行程的两个终点位置时，所述的开关主体处于对风口结构单元的开启状态和关闭状态。3.根据权利要求1所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的开关主体为耐高温隔热材料制成。4.根据权利要求2所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的气压驱动单元还包括气缸连接部，所述的气缸与气缸连接部相连；所述的气缸连接部的端部设置有柱形安装销；所述的开关连接部设有长圆孔，该长圆孔的长度方向为竖直方向，所述的柱形安装销横向地安装在所述的长圆孔中，所述的开关连接部与气缸连接部通过该柱形安装销相连。5.根据权利要求2所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的气压驱动单元还包括气缸固定架，所述的气缸固定架的端部设有安装通孔，且所述的气缸通过螺母固定在所述的气缸固定架上；旋松所述的螺母，可调整该气缸在气缸动作方向上的位置。6.根据权利要求2所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的开关机构还包括开关罩板，所述的开关罩板设置在开关主体上；所述的开关连接部与该开关罩板固定连接。7.根据权利要求2所述的炉体排风控制装置，其特征在于，还包括开关状态监控单元；所述的开关状态监控单元上设置有第一位置信号开关、第二位置信号开关和开关触板；所述的开关连接部与所述的开关触板连接，在所述的气缸行程的两个终点，所述的开关连接部带动所述的开关触板，使该开关触板分别触发所述的第一位置信号开关和第二位置信号开关。8.根据权利要求7所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的开关机构在所述的开关主体的两侧设置有导向杆，所述的开关主体两侧设有导向杆安装部，所述的风口结构单元设置有与所述的导向杆相对应的导向座；所述的导向杆一端与所述的导向杆安装部固定相连，该导向杆的另一端置于所述的导向座内且可沿该导向座移动。9.根据权利要求8所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的风口结构单元还包括隔热罩固定板，所述的隔热罩固定板安装在风口隔热罩外部，该隔热罩固定板将风口隔热罩与风口隔热板固定连接在一起。10.根据权利要求9所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的导向座与所述的隔热罩固定板为一体式结构。2CN102889791B权利要求书2/2页11.根据权利要求7所述的炉体排风控制装置，其特征在于，所述的开关主体上设置有上滑条，在所述的风口结构单元的半封闭空间中设置有与所述上滑条相对应的下滑条，且该上滑条可在该下