一种用于连续烧结窑的可控降温炉体.pdf
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一种用于连续烧结窑的可控降温炉体.pdf
本发明公开了一种用于连续烧结窑的可控降温炉体,包括炉膛壁,所述炉膛壁外周围设风冷外壁,所述风冷外壁与炉膛壁之间形成风冷腔,所述炉膛壁的外周沿长度方向固定套设若干间隔的散热翅片以及布置于散热翅片之间的多级拦风板,所述拦风板的外周相对于散热翅片向外伸出,多级拦风板52平行设置且均与炉膛壁1内腔的中轴线呈螺旋角度α。本发明具有螺旋风冷、冷却效率高且能可控降温等优点。
一种用于快速降温的炉体.pdf
本发明涉及半导体工艺设备技术领域,尤其涉及一种用于快速降温的炉体,在所述炉体的保温层内设有分别沿所述炉体轴向和周向延伸的纵向风道和横向风道,所述炉体底部的保温块上设有环形凹槽状的进风环,所述进风环上设有进风口,所述纵向风道连通所述进风口;所述横向风道的一端连通所述纵向风道,另一端连通所述炉体的炉膛,所述炉膛与所述出风口连通。通过纵向风道和横向风道可以获得较快的降温速率,使得工艺时间变短,保证了片子成膜的质量,降低了生产成本。
一种立式振动输送连续烧结窑.pdf
本发明公开了一种立式振动输送连续烧结窑,包括炉体、进料管、出料管、输料装置和加热装置,输料装置包括立柱、输料板、振动器和底座组件,底座组件位于炉体的底部,立柱垂直立于炉体内并安装于底座组件上,输料板绕立柱螺旋上升形成螺旋输料通道,振动器用于驱动立柱和输料板振动以使粉料沿螺旋输料通道向上运动,进料管与螺旋输料通道的底端连通,出料管与螺旋输料通道的顶端连通,加热装置用于对炉体内的粉料进行加热。本发明改变了粉料的运动状态和移动方式,大大提高了粉料烧结时的反应活性,产品反应活性高、一致性好,既缩小了空间、降低能耗
一种用于降温炉体的进排风系统.pdf
本发明涉及半导体工艺设备技术领域,尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统,该进排风系统包括进风风路和排风风路,所述进风风路上设有进风阀门,通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度;所述排风风路上设有排风阀门,通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。通过所述进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度,可精确控制进入所述降温炉体内的低温的冷却介质,通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关,可精确控制排出所述降温炉体的高温冷却介质,从而保证降温炉体的降温性能,进而保证半导体热处理工艺的质量。
连续可控温银瓷烧结炉.pdf
本发明公开了一种连续可控温银瓷烧结炉,包括七个等距设置的炉体,炉体内设有炉丝,炉体顶部盖合有炉盖,炉盖上安装有用于检测炉体内腔温度的温度传感器,炉体间通过机架固定连接,各炉体依次连通的内腔构成烧结通道,相邻炉体间均设有用于隔断烧结通道的闸板,机架上安装有驱动闸板升降的升降机构,烧结通道内固定有轨道,各炉体内均设有在轨道上移动的小车,小车间通过卡接件卡接。本发明通过牵引装置牵引小车依次通过各炉体进行逐级烘干、高温烧结和逐级冷却,整个生产过程连续,减少银瓷热量损失,节约能源,提高烧结制备的效率,通过温度传感器