

一种用于连续烧结窑的可控降温炉体.pdf
羽沫****魔王
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一种用于连续烧结窑的可控降温炉体.pdf
本发明公开了一种用于连续烧结窑的可控降温炉体,包括炉膛壁,所述炉膛壁外周围设风冷外壁,所述风冷外壁与炉膛壁之间形成风冷腔,所述炉膛壁的外周沿长度方向固定套设若干间隔的散热翅片以及布置于散热翅片之间的多级拦风板,所述拦风板的外周相对于散热翅片向外伸出,多级拦风板52平行设置且均与炉膛壁1内腔的中轴线呈螺旋角度α。本发明具有螺旋风冷、冷却效率高且能可控降温等优点。
一种用于快速降温的炉体.pdf
本发明涉及半导体工艺设备技术领域,尤其涉及一种用于快速降温的炉体,在所述炉体的保温层内设有分别沿所述炉体轴向和周向延伸的纵向风道和横向风道,所述炉体底部的保温块上设有环形凹槽状的进风环,所述进风环上设有进风口,所述纵向风道连通所述进风口;所述横向风道的一端连通所述纵向风道,另一端连通所述炉体的炉膛,所述炉膛与所述出风口连通。通过纵向风道和横向风道可以获得较快的降温速率,使得工艺时间变短,保证了片子成膜的质量,降低了生产成本。
一种立式振动输送连续烧结窑.pdf
本发明公开了一种立式振动输送连续烧结窑,包括炉体、进料管、出料管、输料装置和加热装置,输料装置包括立柱、输料板、振动器和底座组件,底座组件位于炉体的底部,立柱垂直立于炉体内并安装于底座组件上,输料板绕立柱螺旋上升形成螺旋输料通道,振动器用于驱动立柱和输料板振动以使粉料沿螺旋输料通道向上运动,进料管与螺旋输料通道的底端连通,出料管与螺旋输料通道的顶端连通,加热装置用于对炉体内的粉料进行加热。本发明改变了粉料的运动状态和移动方式,大大提高了粉料烧结时的反应活性,产品反应活性高、一致性好,既缩小了空间、降低能耗
一种用于降温炉体的进排风系统.pdf
本发明涉及半导体工艺设备技术领域,尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统,该进排风系统包括进风风路和排风风路,所述进风风路上设有进风阀门,通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度;所述排风风路上设有排风阀门,通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。通过所述进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度,可精确控制进入所述降温炉体内的低温的冷却介质,通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关,可精确控制排出所述降温炉体的高温冷却介质,从而保证降温炉体的降温性能,进而保证半导体热处理工艺的质量。
一种降温速率可控式真空烧结炉及其控制方法.pdf
本发明公开了一种降温速率可控式真空烧结炉及其控制方法,所述系统包括炉体和保温室,保温室设置有进气口和出气口,炉体上设置有通入到炉体内的冷却管和扇叶设置于炉体内的变频风机,冷却管连通有进液管和出液管,变频风机耦接有温控系统,温控系统包括:测温装置一,检测并输出进液管管内的进液温;测温装置二,检测并输出出液管的出液温;测温装置三,检测并输出保温室内的室内温;控制器,耦接于测温装置一、测温装置二、测温装置三和变频风机,根据接收到的进液温、出液温和室内温控制变频风机按照预设的温控曲线调控变频风机的转速,温控曲线与